Tokom procesa epitaksije u parnoj fazi (VPE), uloga postolja je da podupire supstrat i osigura ravnomjerno zagrijavanje tokom procesa rasta. Različite vrste postolja su pogodne za različite uslove rasta i materijalne sisteme. U nastavku su navedene neke od uobičajeno korištenih vrsta postolja u parnoj fazi.epitaksija:
Postolje za bačve
Postolja za bačve se obično koriste u horizontalnim ili nagnutim sistemima za epitaksiju u parnoj fazi. Ona mogu držati podlogu i omogućiti gasu da teče preko podloge, što pomaže u postizanju ujednačenog epitaksijalnog rasta.
Postolje u obliku diska (vertikalno postolje)
Postolja u obliku diska su pogodna za vertikalne sisteme epitaksije u parnoj fazi, u kojima je supstrat postavljen vertikalno. Ovaj dizajn pomaže u smanjenju kontaktne površine između supstrata i susceptora, čime se smanjuje gubitak toplote i potencijalna kontaminacija.
Horizontalni susceptor
Horizontalni susceptori su rjeđi u epitaksiji u parnoj fazi, ali se mogu koristiti u nekim specifičnim sistemima rasta kako bi se omogućio epitaksijalni rast u horizontalnom smjeru.
Monolitni epitaksijalni reakcijski susceptor
Monolitni epitaksijalni reakcijski susceptor dizajniran je za jednu podlogu, što može osigurati precizniju kontrolu temperature i bolju toplinsku izolaciju, pogodno za rast visokokvalitetnih epitaksijalnih slojeva.
Dobrodošli na našu web stranicu za informacije o proizvodima i konsultacije.
Naša web stranica: https://www.vet-china.com/
Vrijeme objave: 30. juli 2024.