במהלך תהליך אפיטקסיה של פאזת אדים (VPE), תפקידו של הבסיס הוא לתמוך במצע ולהבטיח חימום אחיד במהלך תהליך הגידול. סוגים שונים של בסיסים מתאימים לתנאי גידול ומערכות חומרים שונות. להלן כמה מסוגי הבסיסים הנפוצים בשלב אדים.אפיטקסיה:
עמוד חבית
כנים לחבית משמשים בדרך כלל במערכות אפיטקסיה אופקיות או מוטות של פאזה אדית. הם יכולים להחזיק את המצע ולאפשר לגז לזרום מעל המצע, מה שעוזר להשיג צמיחה אפיטקסיאלית אחידה.
כן בצורת דיסק (כן אנכי)
כנים בצורת דיסק מתאימים למערכות אפיטקסיה אנכיות בפאזה אדית, שבהן המצע ממוקם אנכית. עיצוב זה מסייע בהפחתת שטח המגע בין המצע לסוכן, ובכך מפחית אובדן חום וזיהום פוטנציאלי.
תורם אופקי
סוספטורים אופקיים פחות נפוצים באפיטקסיה בפאזה אדים, אך עשויים לשמש במערכות גידול ספציפיות כדי לאפשר צמיחה אפיטקסיאלית בכיוון אופקי.
קולטן תגובה אפיטקסיאלי מונוליטי
תורם התגובה האפיטקסיאלי המונוליטי מיועד למצע יחיד, שיכול לספק בקרת טמפרטורה מדויקת יותר ובידוד תרמי טוב יותר, מתאים לגידול שכבות אפיטקסיאליות באיכות גבוהה.
ברוכים הבאים לאתר שלנו למידע וייעוץ בנוגע למוצרים.
האתר שלנו: https://www.vet-china.com/
זמן פרסום: 30 ביולי 2024