Buxar fazası epitaksisi (VPE) prosesi zamanı dayaqın rolu substratı dəstəkləmək və böyümə prosesi zamanı vahid istiləşməni təmin etməkdir. Müxtəlif növ dayaqlar müxtəlif böyümə şəraiti və material sistemləri üçün uyğundur. Aşağıda buxar fazasında ən çox istifadə edilən dayaq növlərindən bəziləri verilmişdir.epitaksiya:
Barel postamenti
Barel postamentləri adətən üfüqi və ya əyilmiş buxar fazalı epitaksi sistemlərində istifadə olunur. Onlar substratı saxlaya və qazın substrat üzərindən axmasına imkan verə bilər ki, bu da vahid epitaksial böyüməyə nail olmağa kömək edir.
Disk formalı postament (şaquli postament)
Disk formalı postamentlər, substratın şaquli şəkildə yerləşdirildiyi şaquli buxar fazalı epitaksiya sistemləri üçün uyğundur. Bu dizayn substrat və susseptor arasındakı təmas sahəsini azaltmağa kömək edir və bununla da istilik itkisini və potensial çirklənməni azaldır.
Üfüqi susseptor
Üfüqi susseptorlar buxar fazalı epitaksiyada daha az yaygındır, lakin epitaksial böyümənin üfüqi istiqamətdə böyüməsinə imkan vermək üçün bəzi spesifik böyümə sistemlərində istifadə edilə bilər.
Monolit epitaksial reaksiya susceptoru
Monolit epitaksial reaksiya susceptoru, daha dəqiq temperatur nəzarəti və daha yaxşı istilik izolyasiyası təmin edə bilən, yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrin böyüməsi üçün uyğun olan tək bir substrat üçün hazırlanmışdır.
Məhsul haqqında məlumat və məsləhət üçün veb saytımıza xoş gəlmisiniz.
Veb saytımız: https://www.vet-china.com/
Yazı vaxtı: 30 iyul 2024