Salila prosés epitaksi fase uap (VPE), peran pedestal nyaéta pikeun ngadukung substrat sareng mastikeun pemanasan anu seragam salami prosés pertumbuhan. Rupa-rupa jinis pedestal cocog pikeun kaayaan pertumbuhan sareng sistem bahan anu béda. Di handap ieu sababaraha jinis pedestal anu umum dianggo dina fase uapepitaksi:
Alas laras
Pedestal laras umumna dianggo dina sistem epitaksi fase uap horizontal atanapi miring. Éta tiasa nahan substrat sareng ngamungkinkeun gas ngalir di luhur substrat, anu ngabantosan ngahontal pertumbuhan epitaksial anu seragam.
Alas bentuk cakram (alas nangtung)
Pedestal anu bentukna cakram cocog pikeun sistem epitaksi fase uap vertikal, dimana substrat ditempatkeun sacara vertikal. Desain ieu ngabantosan ngirangan daérah kontak antara substrat sareng susceptor, sahingga ngirangan leungitna panas sareng poténsi kontaminasi.
Suseptor horizontal
Susceptor horizontal kirang umum dina epitaksi fase uap, tapi tiasa dianggo dina sababaraha sistem pertumbuhan khusus pikeun ngamungkinkeun pertumbuhan epitaksial dina arah horizontal.
Susceptor réaksi epitaksial monolitik
Susceptor réaksi epitaksial monolitik dirancang pikeun hiji substrat, anu tiasa nyayogikeun kontrol suhu anu langkung tepat sareng isolasi termal anu langkung saé, cocog pikeun kamekaran lapisan epitaksial anu kualitasna luhur.
Wilujeng sumping di situs wéb kami kanggo inpormasi sareng konsultasi produk.
Situs wéb kami: https://www.vet-china.com/
Waktos posting: 30-Jul-2024