Buhar fazlı epitaksi (VPE) işlemi sırasında, kaidenin rolü alt tabakayı desteklemek ve büyüme işlemi boyunca düzgün ısıtmayı sağlamaktır. Farklı kaide tipleri, farklı büyüme koşulları ve malzeme sistemleri için uygundur. Aşağıda, buhar fazında yaygın olarak kullanılan bazı kaide tipleri verilmiştir.epitaksi:
Varil kaidesi
Varil şeklindeki kaideler, yatay veya eğimli buhar fazlı epitaksi sistemlerinde yaygın olarak kullanılır. Substratı tutabilir ve gazın substrat üzerinden akmasına izin vererek düzgün epitaksiyel büyümenin sağlanmasına yardımcı olurlar.
Disk şeklinde kaide (dikey kaide)
Disk şeklindeki kaideler, substratın dikey olarak yerleştirildiği dikey buhar fazlı epitaksi sistemleri için uygundur. Bu tasarım, substrat ile suseptör arasındaki temas alanını azaltmaya yardımcı olarak ısı kaybını ve olası kirlenmeyi azaltır.
Yatay destek
Yatay suseptörler buhar fazlı epitaksi yönteminde daha az yaygındır, ancak bazı özel büyüme sistemlerinde yatay yönde epitaksiyel büyümeye olanak sağlamak için kullanılabilirler.
Monolitik epitaksiyel reaksiyon taşıyıcısı
Tek parça halindeki epitaksiyel reaksiyon süseptörü, tek bir alt tabaka için tasarlanmıştır ve daha hassas sıcaklık kontrolü ve daha iyi termal izolasyon sağlayarak yüksek kaliteli epitaksiyel katmanların büyümesi için uygundur.
Ürün bilgisi ve danışmanlık için web sitemize hoş geldiniz.
Web sitemiz: https://www.vet-china.com/
Yayın tarihi: 30 Temmuz 2024