Buhar fazı epitaksi (VPE) işlemi sırasında, kaidenin rolü alt tabakayı desteklemek ve büyüme süreci boyunca düzgün ısıtma sağlamaktır. Farklı tipteki kaideler farklı büyüme koşulları ve malzeme sistemleri için uygundur. Aşağıda buhar fazında yaygın olarak kullanılan kaide tiplerinden bazıları verilmiştirepitaksi:
Fıçı kaidesi
Namlu kaideleri genellikle yatay veya eğimli buhar fazı epitaksi sistemlerinde kullanılır. Alt tabakayı tutabilir ve gazın alt tabakanın üzerinden akmasına izin verebilir, bu da düzgün epitaksiyel büyüme elde etmeye yardımcı olur.
Disk şeklindeki kaide (dikey kaide)
Disk şeklindeki kaideler, alt tabakanın dikey olarak yerleştirildiği dikey buhar fazı epitaksi sistemleri için uygundur. Bu tasarım, alt tabaka ile alıcı arasındaki temas alanını azaltmaya yardımcı olur, böylece ısı kaybını ve potansiyel kontaminasyonu azaltır.
Yatay alıcı
Yatay reseptörler buhar fazı epitaksisinde daha az yaygındır, ancak bazı özel büyüme sistemlerinde yatay yönde epitaksiyel büyümeye izin vermek için kullanılabilir.
Monolitik epitaksiyel reaksiyon reseptörü
Monolitik epitaksiyel reaksiyon reseptörü, daha hassas sıcaklık kontrolü ve daha iyi termal izolasyon sağlayabilen, yüksek kaliteli epitaksiyel katmanların büyümesine uygun, tek bir substrat için tasarlanmıştır.
Ürün bilgisi ve danışmanlık için web sitemize hoş geldiniz.
Web sitemiz: https://www.vet-china.com/
Gönderi zamanı: 30-Tem-2024