Under dampfaseepitaksi (VPE)-processen er piedestalens rolle at understøtte substratet og sikre ensartet opvarmning under vækstprocessen. Forskellige typer piedestaler er egnede til forskellige vækstbetingelser og materialesystemer. Følgende er nogle af de almindeligt anvendte piedestaltyper i dampfaseepitaksi:
Tøndepiedestal
Tøndeformede piedestaler bruges almindeligvis i vandrette eller skråstilte dampfaseepitaksisystemer. De kan holde substratet og tillade gassen at strømme hen over substratet, hvilket hjælper med at opnå ensartet epitaksial vækst.
Skiveformet piedestal (lodret piedestal)
Skiveformede piedestaler er velegnede til vertikale dampfaseepitaksisystemer, hvor substratet placeres vertikalt. Dette design hjælper med at reducere kontaktarealet mellem substratet og susceptoren, hvorved varmetab og potentiel kontaminering reduceres.
Horisontal susceptor
Horisontale susceptorer er mindre almindelige i dampfaseepitaksi, men kan bruges i nogle specifikke vækstsystemer for at tillade epitaksial vækst i en vandret retning.
Monolitisk epitaksial reaktionssusceptor
Den monolitiske epitaksiale reaktionssusceptor er designet til et enkelt substrat, hvilket kan give mere præcis temperaturkontrol og bedre termisk isolering, egnet til vækst af epitaksiale lag af høj kvalitet.
Velkommen til vores hjemmeside for produktinformation og rådgivning.
Vores hjemmeside: https://www.vet-china.com/
Opslagstidspunkt: 30. juli 2024