A na-ejikarị pedestal eme ihe maka epitaxy nke vapor phase

N'oge usoro epitaxy nke vapor phase (VPE), ọrụ nke pedestal bụ ịkwado substrate ahụ ma hụ na e nwere otu okpomọkụ n'oge usoro uto. Ụdị pedestal dị iche iche dabara adaba maka ọnọdụ uto dị iche iche na sistemụ ihe. Ndị a bụ ụfọdụ ụdị pedestal a na-ejikarị eme ihe na vepo phase.epitaxi:

1
Ntọala gbọmgbọm

A na-ejikarị eriri gbọmgbọm eme ihe n'usoro epitaxy nke vapor kwụ ọtọ ma ọ bụ nke gbagọrọ agbagọ. Ha nwere ike ijide ihe mkpuchi ahụ ma kwe ka gas na-asọfe n'elu ihe mkpuchi ahụ, nke na-enyere aka inweta uto epitaxial otu.

4

ntọala dị ka diski (ebe kwụ ọtọ)

Ihe ndị dị ka diski dabara adaba maka sistemu epitaxy nke vapor phase kwụ ọtọ, ebe a na-etinye ihe ndị dị na ya n'ebe kwụ ọtọ. Nhazi a na-enyere aka belata ebe kọntaktị dị n'etiti ihe ndị dị na ihe ndị na-egbochi ya, si otú a belata mfu okpomọkụ na mmetọ nwere ike ime.

3

Ihe na-egbochi kwụ ọtọ

A naghị ahụkarị ihe ndị na-egbochi ikuku na-apụta n'akụkụ ikuku, mana enwere ike iji ha na ụfọdụ sistemụ uto kpọmkwem iji kwe ka uto epitaxial too n'akụkụ kwụ ọtọ.

2

Ihe na-egbochi mmeghachi omume epitaxial monolithic

Emebere ihe na-egbochi mmeghachi omume epitaxial monolithic maka otu ihe dị n'ime ya, nke nwere ike inye njikwa okpomọkụ ka mma na ikewapụ okpomọkụ ka mma, nke dabara adaba maka uto nke akwa epitaxial dị elu.

Nnọọ na weebụsaịtị anyị maka ozi gbasara ngwaahịa na ndụmọdụ.

Weebụsaịtị anyị: https://www.vet-china.com/


Oge ozi: Julaị-30-2024
Mkparịta ụka WhatsApp n'ịntanetị!