기상 에피택시(VPE) 공정에서 페데스탈의 역할은 기판을 지지하고 성장 과정 동안 균일한 가열을 보장하는 것입니다. 다양한 종류의 페데스탈은 각기 다른 성장 조건과 재료 시스템에 적합합니다. 다음은 기상 에피택시에서 일반적으로 사용되는 몇 가지 페데스탈 유형입니다.에피택시:
배럴 받침대
배럴형 받침대는 수평 또는 경사형 기상 증착 시스템에서 흔히 사용됩니다. 기판을 고정하고 가스가 기판 위로 흐르도록 하여 균일한 에피택시 성장을 달성하는 데 도움을 줍니다.
원반형 받침대(수직 받침대)
원반형 받침대는 기판이 수직으로 배치되는 수직형 기상 증착 시스템에 적합합니다. 이러한 설계는 기판과 서셉터 사이의 접촉 면적을 줄여 열 손실과 오염 가능성을 낮추는 데 도움이 됩니다.
수평 서셉터
수평형 서셉터는 기상 에피택시에서는 흔하지 않지만, 특정 성장 시스템에서는 수평 방향으로의 에피택시 성장을 가능하게 하기 위해 사용될 수 있습니다.
단일체 에피택셜 반응 수용체
일체형 에피택셜 반응 서셉터는 단일 기판용으로 설계되어 보다 정밀한 온도 제어와 우수한 열 절연을 제공하므로 고품질 에피택셜 층 성장에 적합합니다.
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게시 시간: 2024년 7월 30일