Під час процесу парофазної епітаксії (VPE) роль підставки полягає в підтримці підкладки та забезпеченні рівномірного нагрівання під час процесу вирощування. Різні типи підставок підходять для різних умов вирощування та матеріальних систем. Нижче наведено деякі з поширених типів підставок у парофазній епітаксії.епітаксія:
П'єдестал для бочок
Стволові підставки зазвичай використовуються в горизонтальних або нахилених системах парофазної епітаксії. Вони можуть утримувати підкладку та дозволяти газу текти по підкладці, що допомагає досягти рівномірного епітаксіального росту.
Дискова підставка (вертикальна підставка)
Дискові підставки підходять для вертикальних систем парофазної епітаксії, в яких підкладка розміщується вертикально. Така конструкція допомагає зменшити площу контакту між підкладкою та токоприймачем, тим самим зменшуючи втрати тепла та потенційне забруднення.
Горизонтальний сусцептор
Горизонтальні сусцептори менш поширені в парофазній епітаксії, але можуть використовуватися в деяких специфічних системах росту, щоб забезпечити епітаксіальне зростання в горизонтальному напрямку.
Монолітний епітаксіальний реакційний сусцептор
Монолітний епітаксіальний реакційний токоприймач розроблений для однієї підкладки, що може забезпечити точніший контроль температури та кращу теплову ізоляцію, що підходить для вирощування високоякісних епітаксіальних шарів.
Ласкаво просимо на наш веб-сайт для отримання інформації про продукцію та консультацій.
Наш вебсайт: https://www.vet-china.com/
Час публікації: 30 липня 2024 р.