ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ epitaxy ໄລຍະໄອນ້ຳ (VPE), ບົດບາດຂອງຖານແມ່ນເພື່ອຮອງຮັບຊັ້ນໃຕ້ດິນ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່. ຖານປະເພດຕ່າງໆແມ່ນເໝາະສົມກັບສະພາບການເຕີບໃຫຍ່ ແລະ ລະບົບວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນບາງປະເພດຖານທີ່ນິຍົມໃຊ້ໃນໄລຍະໄອນ້ຳ.epitaxology:
ฐานรองกระบอก
ເສົາແບບຖັງມັກຖືກນໍາໃຊ້ໃນລະບົບ epitaxial ໄລຍະໄອທີ່ນອນ ຫຼື ອຽງ. ພວກມັນສາມາດຍຶດຊັບສະເຕຣດ ແລະ ອະນຸຍາດໃຫ້ອາຍແກັສໄຫຼຜ່ານຊັບສະເຕຣດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ເປັນເອກະພາບ.
ເສົາຮູບຊົງແຜ່ນ (ເສົາແນວຕັ້ງ)
ຕີນຮູບຊົງແຜ່ນແມ່ນເໝາະສົມສຳລັບລະບົບ epitaxy ໄລຍະໄອນ້ຳແນວຕັ້ງ, ເຊິ່ງຊັ້ນຮອງພື້ນຖືກວາງໄວ້ໃນແນວຕັ້ງ. ການອອກແບບນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນພື້ນທີ່ສຳຜັດລະຫວ່າງຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການປົນເປື້ອນທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນ.
ຕົວຮັບນ້ຳໜັກອອກຕາມແນວນອນ
ຕົວຮັບຄວາມຢືດຢຸ່ນຕາມແນວນອນແມ່ນພົບໜ້ອຍກວ່າໃນໄລຍະ epitaxy ໄລຍະໄອ, ແຕ່ອາດຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນລະບົບການເຕີບໂຕສະເພາະບາງຢ່າງເພື່ອໃຫ້ການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ໃນທິດທາງອອກຕາມແນວນອນ.
ຕົວຮັບປະຕິກິລິຍາ epitaxial ຂະໜາດດຽວ
ຕົວຮັບປະຕິກິລິຍາ epitaxial ຂະໜາດດຽວຖືກອອກແບບມາສຳລັບຊັ້ນຮອງພື້ນດຽວ, ເຊິ່ງສາມາດຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໄດ້ຊັດເຈນກວ່າ ແລະ ແຍກຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີຂຶ້ນ, ເໝາະສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
ຍິນດີຕ້ອນຮັບສູ່ເວັບໄຊທ໌ຂອງພວກເຮົາສຳລັບຂໍ້ມູນຜະລິດຕະພັນ ແລະ ການປຶກສາຫາລື.
ເວັບໄຊທ໌ຂອງພວກເຮົາ: https://www.vet-china.com/
ເວລາໂພສ: ກໍລະກົດ 30-2024