În timpul procesului de epitaxie în fază de vapori (VPE), rolul piedestalului este de a susține substratul și de a asigura o încălzire uniformă în timpul procesului de creștere. Diferite tipuri de piedestaluri sunt potrivite pentru diferite condiții de creștere și sisteme de materiale. Următoarele sunt câteva dintre tipurile de piedestal utilizate în mod obișnuit în faza de vapori.epitaxie:
Piedestal de butoi
Piedestalurile de butoi sunt utilizate în mod obișnuit în sistemele de epitaxie în fază de vapori orizontale sau înclinate. Acestea pot susține substratul și permit gazului să curgă peste substrat, ceea ce ajută la obținerea unei creșteri epitaxiale uniforme.
Piedestal în formă de disc (piedestal vertical)
Piedestalurile în formă de disc sunt potrivite pentru sistemele verticale de epitaxie în fază de vapori, în care substratul este plasat vertical. Acest design ajută la reducerea suprafeței de contact dintre substrat și susceptor, reducând astfel pierderile de căldură și potențiala contaminare.
Susceptor orizontal
Susceptorii orizontali sunt mai puțin frecvenți în epitaxia în fază de vapori, dar pot fi utilizați în unele sisteme de creștere specifice pentru a permite creșterea epitaxială în direcție orizontală.
Susceptor de reacție epitaxială monolitic
Susceptorul de reacție epitaxială monolitic este conceput pentru un singur substrat, care poate oferi un control mai precis al temperaturii și o izolare termică mai bună, potrivit pentru creșterea straturilor epitaxiale de înaltă calitate.
Bine ați venit pe site-ul nostru web pentru informații despre produse și consultanță.
Site-ul nostru web: https://www.vet-china.com/
Data publicării: 30 iulie 2024