I le taimi o le faagasologa o le vapor phase epitaxy (VPE), o le matafaioi a le pedestal o le lagolagoina lea o le substrate ma ia mautinoa le mafanafana tutusa i le taimi o le faagasologa o le tuputupu aʻe. E eseese ituaiga o pedestals e fetaui mo tulaga eseese o le tuputupu aʻe ma faiga o meafaitino. O nisi nei o ituaiga pedestal e masani ona faʻaaogaina i le vapor phaseepitaxy:
Fa'avae o le paelo
E masani ona fa'aaogaina pedestals o le paelo i faiga epitaxy o le vapor phase faalava po'o le fa'asolo. E mafai ona latou taofia le substrate ma fa'ataga ai le kesi e tafe i luga o le substrate, lea e fesoasoani e ausia ai le tuputupu a'e tutusa o le epitaxial.
Fa'avae foliga tisiketi (fa'avae fa'atulagaina)
E fetaui lelei pedestals foliga tisiketi mo faiga epitaxy o le va'a fa'atulagaina, lea e tu'u fa'atulagaina ai le substrate. O lenei mamanu e fesoasoani e fa'aitiitia ai le vaega e feso'ota'i ai le substrate ma le susceptor, ma fa'aitiitia ai le leiloa o le vevela ma le ono fa'aleagaina.
Fa'alava fa'alava
E seasea ona iai ni fa'alava fa'apipi'i e fa'apipi'i i le vapor phase epitaxy, ae e mafai ona fa'aaogaina i nisi o faiga fa'apitoa o le tuputupu a'e e fa'ataga ai le tuputupu a'e i le epitaxial i se itu fa'alava.
Fa'aosofiaga tali epitaxial monolithic
O le monolithic epitaxial reaction susceptor ua mamanuina mo se substrate e tasi, lea e mafai ona maua ai le pulea lelei o le vevela ma le faʻaesea lelei o le vevela, e talafeagai mo le tuputupu aʻe o vaega epitaxial maualuga.
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Taimi na lafoina ai: Iulai-30-2024