Tijekom procesa epitaksije u parnoj fazi (VPE), uloga postolja je podupiranje podloge i osiguranje ravnomjernog zagrijavanja tijekom procesa rasta. Različite vrste postolja prikladne su za različite uvjete rasta i materijalne sustave. Slijede neki od uobičajeno korištenih tipova postolja u parnoj faziepitaksija:
Postolje za bačve
Postolja s bačvama se obično koriste u horizontalnim ili nagnutim sustavima epitaksije u parnoj fazi. Mogu držati podlogu i omogućiti protok plina preko podloge, što pomaže u postizanju jednoličnog epitaksijalnog rasta.
Postolje u obliku diska (vertikalno postolje)
Postolja u obliku diska prikladna su za vertikalne sustave epitaksije u parnoj fazi, u kojima je podloga postavljena vertikalno. Ovaj dizajn pomaže smanjiti kontaktnu površinu između podloge i susceptora, čime se smanjuje gubitak topline i potencijalna kontaminacija.
Horizontalni susceptor
Horizontalni susceptori su rjeđi u epitaksiji u parnoj fazi, ali se mogu koristiti u nekim specifičnim sustavima rasta kako bi se omogućio epitaksijalni rast u horizontalnom smjeru.
Monolitni epitaksijalni reakcijski susceptor
Monolitni epitaksijalni reakcijski susceptor dizajniran je za jednu podlogu, što omogućuje precizniju kontrolu temperature i bolju toplinsku izolaciju, pogodnu za rast visokokvalitetnih epitaksijalnih slojeva.
Dobrodošli na našu web stranicu za informacije o proizvodima i konzultacije.
Naša web stranica: https://www.vet-china.com/
Vrijeme objave: 30. srpnja 2024.