خلال عملية الترسيب بالطور البخاري (VPE)، يتمثل دور القاعدة في دعم الركيزة وضمان تسخينها بشكل متجانس أثناء عملية النمو. وتُناسب أنواع مختلفة من القواعد ظروف نمو وأنظمة مواد مختلفة. فيما يلي بعض أنواع القواعد الشائعة الاستخدام في الترسيب بالطور البخاري.الترسيب الطبقي:
قاعدة برميلية
تُستخدم قواعد البراميل بشكل شائع في أنظمة الترسيب البخاري الأفقية أو المائلة. فهي تُثبّت الركيزة وتسمح بتدفق الغاز فوقها، مما يُساعد على تحقيق نمو طبقي متجانس.
قاعدة على شكل قرص (قاعدة عمودية)
تُعدّ القواعد القرصية الشكل مناسبة لأنظمة الترسيب البخاري العمودية، حيث يتم وضع الركيزة بشكل عمودي. يُساعد هذا التصميم على تقليل مساحة التلامس بين الركيزة والحامل، مما يُقلل من فقدان الحرارة والتلوث المحتمل.
حامل أفقي
تعتبر المستقبلات الأفقية أقل شيوعًا في الترسيب البخاري، ولكن يمكن استخدامها في بعض أنظمة النمو المحددة للسماح بالنمو المتناحي في اتجاه أفقي.
قابلية تفاعل الترسيب المتجانس
تم تصميم مستقبل التفاعل المتجانس للركيزة الواحدة، مما يوفر تحكمًا أكثر دقة في درجة الحرارة وعزلًا حراريًا أفضل، وهو مناسب لنمو طبقات عالية الجودة.
مرحباً بكم في موقعنا الإلكتروني للاطلاع على معلومات المنتجات والاستشارات.
موقعنا الإلكتروني: https://www.vet-china.com/
تاريخ النشر: 30 يوليو 2024