خلال عملية التراكب في طور البخار (VPE)، يتمثل دور القاعدة في دعم الركيزة وضمان تسخين موحد أثناء عملية النمو. وتختلف أنواع القواعد المناسبة لظروف نمو وأنظمة مواد مختلفة. فيما يلي بعض أنواع القواعد الشائعة الاستخدام في طور البخار:التكاثر:
قاعدة البرميل
تُستخدم قواعد البراميل عادةً في أنظمة التكاثر الطبقي الأفقية أو المائلة. فهي تُثبّت الركيزة وتسمح بتدفق الغاز فوقها، مما يُساعد على تحقيق نمو طبقي متجانس.
قاعدة على شكل قرص (قاعدة عمودية)
تُناسب القواعد القرصية أنظمة التكثيف البخاري الرأسي، حيث تُوضع الركيزة عموديًا. يُساعد هذا التصميم على تقليل مساحة التلامس بين الركيزة والمُستقبِل، مما يُقلل من فقدان الحرارة واحتمالية التلوث.
المستقبل الأفقي
تعتبر المستقبلات الأفقية أقل شيوعًا في النمو الطبقي في الطور البخاري، ولكن يمكن استخدامها في بعض أنظمة النمو المحددة للسماح بالنمو الطبقي في اتجاه أفقي.
مستقبل تفاعلي أحادي الطبقة
تم تصميم مستقبل التفاعل الطبقي المتجانس لركيزة واحدة، مما يمكنه توفير تحكم أكثر دقة في درجة الحرارة وعزل حراري أفضل، ومناسب لنمو الطبقات الطبقية عالية الجودة.
مرحباً بكم في موقعنا الإلكتروني للحصول على معلومات حول المنتج والاستشارات.
موقعنا على الإنترنت: https://www.vet-china.com/
وقت النشر: 30 يوليو 2024