Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξίας σε αέρια φάση (VPE), ο ρόλος του βάθρου είναι να υποστηρίζει το υπόστρωμα και να διασφαλίζει ομοιόμορφη θέρμανση κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ανάπτυξης. Διαφορετικοί τύποι βάθρων είναι κατάλληλοι για διαφορετικές συνθήκες ανάπτυξης και συστήματα υλικών. Ακολουθούν ορισμένοι από τους συνήθως χρησιμοποιούμενους τύπους βάθρων σε αέρια φάση.επιταξία:
Βάθρο βαρελιού
Τα βάθρα βαρελιών χρησιμοποιούνται συνήθως σε οριζόντια ή κεκλιμένα συστήματα επιταξίας αέριας φάσης. Μπορούν να συγκρατήσουν το υπόστρωμα και να επιτρέψουν στο αέριο να ρέει πάνω από το υπόστρωμα, γεγονός που βοηθά στην επίτευξη ομοιόμορφης επιταξιακής ανάπτυξης.
Βάθρο σε σχήμα δίσκου (κάθετο βάθρο)
Τα δισκοειδή βάθρα είναι κατάλληλα για κατακόρυφα συστήματα επιταξίας αέριας φάσης, στα οποία το υπόστρωμα τοποθετείται κατακόρυφα. Αυτός ο σχεδιασμός βοηθά στη μείωση της επιφάνειας επαφής μεταξύ του υποστρώματος και του δεκτικού, μειώνοντας έτσι την απώλεια θερμότητας και την πιθανή μόλυνση.
Οριζόντιος υποδοχέας
Οι οριζόντιοι υποδοχείς είναι λιγότερο συνηθισμένοι στην επιταξία σε αέρια φάση, αλλά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε ορισμένα συγκεκριμένα συστήματα ανάπτυξης για να επιτρέψουν την επιταξιακή ανάπτυξη σε οριζόντια κατεύθυνση.
Μονολιθικός επιταξιακός υποδοχέας αντίδρασης
Ο μονολιθικός επιταξιακός υποδοχέας αντίδρασης έχει σχεδιαστεί για ένα μόνο υπόστρωμα, το οποίο μπορεί να παρέχει ακριβέστερο έλεγχο θερμοκρασίας και καλύτερη θερμική απομόνωση, κατάλληλο για την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας.
Καλώς ορίσατε στην ιστοσελίδα μας για πληροφορίες και συμβουλές σχετικά με τα προϊόντα.
Η ιστοσελίδα μας: https://www.vet-china.com/
Ώρα δημοσίευσης: 30 Ιουλίου 2024