Bug fazasynyň epitaksiýasy (VPE) prosesinde, pedestanyň wezipesi substraty goldamak we ösüş prosesinde deň derejede gyzdyrmagy üpjün etmekdir. Dürli ösüş şertleri we material ulgamlary üçin dürli görnüşli pedestalar amatlydyr. Aşakda bug fazasynda giňden ulanylýan käbir pedesta görnüşleri getirilýär.epitaksiýa:
Barrel pyýadasy
Barrelli pedestallar, adatça, gorizontal ýa-da egri bug fazaly epitaksiýa ulgamlarynda ulanylýar. Olar substraty saklap bilýär we gazyň substratyň üstünden geçmegine mümkinçilik berýär, bu bolsa birmeňzeş epitaksiýa ösüşiniň gazanylmagyna kömek edýär.
Disk şekilli tagta (dik tagta)
Disk görnüşli tagtalar substrat dikligine ýerleşdirilýän dik bug fazaly epitaksiýa ulgamlary üçin amatlydyr. Bu dizaýn substrat bilen susseptoryň arasyndaky kontakt meýdanyny azaltmaga kömek edýär, şeýlelik bilen ýylylyk ýitgisini we mümkin bolan hapalanmany azaldýar.
Gorizontal susseptor
Gorizontal susseptorlar bug fazasynyň epitaksiýasynda seýrek duş gelýär, ýöne käbir aýratyn ösüş ulgamlarynda gorizontal ugurda epitaksial ösüşe mümkinçilik bermek üçin ulanylyp bilner.
Monolit epitaksial reaksiýa susseptory
Monolit epitaksial reaksiýa susseptory ýokary hilli epitaksial gatlaklaryň ösmegi üçin amatly bolan, has takyk temperatura gözegçiligini we has gowy termal izolýasiýany üpjün edip bilýän ýeke substrat üçin niýetlenendir.
Önüm barada maglumat we maslahat üçin web sahypamyza hoş geldiňiz.
Web sahypamyz: https://www.vet-china.com/
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 30-njy iýuly