ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიის (VPE) პროცესის დროს, კვარცხლბეკის როლი სუბსტრატის მხარდაჭერა და ზრდის პროცესში ერთგვაროვანი გათბობის უზრუნველყოფაა. სხვადასხვა ტიპის კვარცხლბეკები შესაფერისია ზრდის სხვადასხვა პირობებისა და მატერიალური სისტემებისთვის. ქვემოთ მოცემულია ორთქლის ფაზაში ხშირად გამოყენებული კვარცხლბეკის რამდენიმე ტიპი.ეპიტაქსია:
ლულის კვარცხლბეკი
კასრისებრი საყრდენები ხშირად გამოიყენება ჰორიზონტალურ ან დახრილ ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიის სისტემებში. მათ შეუძლიათ სუბსტრატის დაჭერა და გაზის სუბსტრატზე გადადინების საშუალება, რაც ხელს უწყობს ერთგვაროვანი ეპიტაქსიური ზრდის მიღწევას.
დისკის ფორმის კვარცხლბეკი (ვერტიკალური კვარცხლბეკი)
დისკის ფორმის სადგამები შესაფერისია ვერტიკალური ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიის სისტემებისთვის, რომლებშიც სუბსტრატი ვერტიკალურად არის განთავსებული. ეს დიზაინი ხელს უწყობს სუბსტრატსა და სუსპექტორს შორის კონტაქტის ფართობის შემცირებას, რითაც მცირდება სითბოს დაკარგვა და პოტენციური დაბინძურება.
ჰორიზონტალური სუსცეპტორი
ჰორიზონტალური სუსცეპტორები ნაკლებად გავრცელებულია ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიაში, თუმცა შეიძლება გამოყენებულ იქნას ზოგიერთ სპეციფიკურ ზრდის სისტემაში, რათა უზრუნველყოფილი იყოს ეპიტაქსიური ზრდა ჰორიზონტალური მიმართულებით.
მონოლითური ეპიტაქსიური რეაქციის სუსცეპტორი
მონოლითური ეპიტაქსიური რეაქციის სუსცეპტორი შექმნილია ერთი სუბსტრატისთვის, რომელსაც შეუძლია უზრუნველყოს უფრო ზუსტი ტემპერატურის კონტროლი და უკეთესი თერმული იზოლაცია, რაც შესაფერისია მაღალი ხარისხის ეპიტაქსიური ფენების გასაზრდელად.
კეთილი იყოს თქვენი მობრძანება ჩვენს ვებგვერდზე, სადაც შეგიძლიათ მიიღოთ ინფორმაცია პროდუქტის შესახებ და კონსულტაცია.
ჩვენი ვებსაიტი: https://www.vet-china.com/
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 30 ივლისი