Wakati wa mchakato wa awamu ya mvuke epitaksi (VPE), jukumu la msingi ni kuunga mkono msingi na kuhakikisha joto linapokanzwa kwa usawa wakati wa mchakato wa ukuaji. Aina tofauti za msingi zinafaa kwa hali tofauti za ukuaji na mifumo ya nyenzo. Zifuatazo ni baadhi ya aina za msingi zinazotumika sana katika awamu ya mvuke.epitaksi:
Kiti cha pipa
Viti vya pipa hutumiwa kwa kawaida katika mifumo ya epitaksi ya awamu ya mvuke iliyo mlalo au iliyoinama. Vinaweza kushikilia sehemu ya chini na kuruhusu gesi kutiririka juu ya sehemu ya chini, ambayo husaidia kufikia ukuaji sawa wa epitaksi.
Kitambaa chenye umbo la diski (kitambaa cha wima)
Viti vya msingi vyenye umbo la diski vinafaa kwa mifumo ya epitaksi ya awamu ya mvuke wima, ambapo sehemu ya msingi huwekwa wima. Muundo huu husaidia kupunguza eneo la mguso kati ya sehemu ya msingi na kifyonza, na hivyo kupunguza upotevu wa joto na uchafuzi unaowezekana.
Kifaa cha kushikilia mlalo
Vizuizi vya mlalo si vya kawaida sana katika epitaksi ya awamu ya mvuke, lakini vinaweza kutumika katika baadhi ya mifumo maalum ya ukuaji ili kuruhusu ukuaji wa epitaksi katika mwelekeo mlalo.
Kishawishi cha mmenyuko wa epitaxial cha monolithic
Kiunganishi cha mmenyuko wa epitaxial cha monolithic kimeundwa kwa ajili ya substrate moja, ambayo inaweza kutoa udhibiti sahihi zaidi wa halijoto na utenganishaji bora wa joto, unaofaa kwa ukuaji wa tabaka za epitaxial zenye ubora wa juu.
Karibu kwenye tovuti yetu kwa taarifa na ushauri kuhusu bidhaa.
Tovuti yetu: https://www.vet-china.com/
Muda wa chapisho: Julai-30-2024