Бу фазасының эпитаксиясы (VPE) процесінде тұғырдың рөлі субстратты ұстап тұру және өсу процесінде біркелкі қыздыруды қамтамасыз ету болып табылады. Әртүрлі тұғыр түрлері әртүрлі өсу жағдайлары мен материалдық жүйелерге жарамды. Төменде бу фазасында жиі қолданылатын тұғыр түрлерінің кейбірі келтірілген.эпитаксия:
Бөшке тұғыры
Бөшкелі тұғырлар көлденең немесе еңкейтілген бу фазалы эпитакси жүйелерінде жиі қолданылады. Олар субстратты ұстап тұрып, газдың субстрат үстінен өтуіне мүмкіндік береді, бұл біркелкі эпитаксиалды өсуге қол жеткізуге көмектеседі.
Диск тәрізді тұғыр (тік тұғыр)
Диск тәрізді тұғырлар тік бу фазалық эпитакси жүйелеріне жарамды, онда субстрат тігінен орналастырылады. Бұл дизайн субстрат пен сусцептор арасындағы жанасу аймағын азайтуға көмектеседі, осылайша жылу шығынын және ықтимал ластануды азайтады.
Көлденең сусцептор
Көлденең сусцепторлар бу фазасындағы эпитаксияда сирек кездеседі, бірақ көлденең бағытта эпитаксиалды өсуге мүмкіндік беру үшін кейбір нақты өсу жүйелерінде қолданылуы мүмкін.
Монолитті эпитаксиалды реакция сусцепторы
Монолитті эпитаксиалды реакция сусцепторы жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттардың өсуіне қолайлы, температураны дәлірек бақылауды және жақсы жылу оқшаулауын қамтамасыз ете алатын бір субстратқа арналған.
Өнім туралы ақпарат алу және кеңес алу үшін біздің веб-сайтқа қош келдіңіз.
Біздің веб-сайтымыз: https://www.vet-china.com/
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 30 шілде