Di pêvajoya epitaksîya qonaxa buharê (VPE) de, rola pêdestalê ew e ku piştgiriyê bide substratê û di dema pêvajoya mezinbûnê de germkirinek yekreng misoger bike. Cureyên cûda yên pêdestalan ji bo şert û mercên mezinbûnê û pergalên materyalê yên cûda guncan in. Li jêr hin ji celebên pêdestalan ên ku bi gelemperî di qonaxa buharê de têne bikar anîn hene.epîtaksî:
Pêdestalê bermîl
Pêdestalên bermîl bi gelemperî di sîstemên epitaksîya qonaxa buharê ya horizontî an jî xwar de têne bikar anîn. Ew dikarin substratê bigirin û bihêlin ku gaz li ser substratê biherike, ku ev yek dibe alîkar ku mezinbûna epitaksîyal a yekreng pêk were.
Pêdestalek bi şiklê dîskê (pêdestalek vertîkal)
Pêdestalên bi şiklê dîskê ji bo sîstemên epitaksiya qonaxa buhara vertîkal guncaw in, ku tê de substrat bi awayekî vertîkal tê danîn. Ev sêwirandin dibe alîkar ku rûbera têkiliyê ya di navbera substrat û susceptor de kêm bibe, bi vî rengî windabûna germê û gemarbûna potansiyel kêm dike.
Sûspêktora horizontî
Sûsceptorên horizontal di epitaksiya qonaxa buharê de kêmtir gelemperî ne, lê dikarin di hin pergalên mezinbûnê yên taybetî de werin bikar anîn da ku mezinbûna epitaksîyal di rêgezek horizontal de gengaz bikin.
Reaksiyona epîtaksî ya monolîtîk
Reaksiyona epîtaksîyal a monolîtîk ji bo substratek yekane hatiye sêwirandin, ku dikare kontrola germahiyê ya rasttir û îzolekirina germî ya çêtir peyda bike, ku ji bo mezinbûna tebeqeyên epîtaksîyal ên bi kalîte bilind guncan e.
Ji bo agahdarî û şêwirmendiya hilberan bi xêr hatin malpera me.
Malpera me: https://www.vet-china.com/
Dema şandinê: 30ê Tîrmehê-2024