Cov pedestals feem ntau siv rau cov pa epitaxy

Thaum lub sijhawm ua pa epitaxy (VPE), lub luag haujlwm ntawm lub pedestal yog txhawb nqa lub substrate thiab xyuas kom muaj cua sov sib npaug thaum lub sijhawm loj hlob. Ntau hom pedestals yog tsim rau ntau yam kev loj hlob thiab cov khoom siv sib txawv. Cov hauv qab no yog qee hom pedestal siv feem ntau hauv theem vapor.epitaxation:

Lub pedestal ntawm lub thoob

Cov ceg ntawm lub thoob feem ntau siv rau hauv cov kab rov tav lossis tilted vapor phase epitaxy systems. Lawv tuaj yeem tuav lub substrate thiab cia cov roj ntws hla lub substrate, uas pab kom ua tiav kev loj hlob epitaxial sib npaug.

Lub pedestal zoo li disc (lub pedestal ntsug)

Cov pedestals zoo li disc yog tsim rau cov kab ke epitaxy ntsug, uas lub substrate raug muab tso ntsug. Qhov kev tsim no pab txo qhov chaw sib cuag ntawm lub substrate thiab tus susceptor, yog li ntawd txo qhov poob cua sov thiab qhov ua rau muaj kuab paug.

Tus neeg raug mob kab rov tav

Cov kab rov tav su tsis tshua muaj nyob rau hauv vapor phase epitaxy, tab sis tej zaum yuav siv tau rau hauv qee qhov kev loj hlob tshwj xeeb kom tso cai rau epitaxial loj hlob hauv kab rov tav.

Monolithic epitaxial reaction susceptor

Lub monolithic epitaxial reaction susceptor yog tsim los rau ib qho substrate, uas tuaj yeem muab kev tswj kub kom meej dua thiab kev rho tawm thermal zoo dua, tsim nyog rau kev loj hlob ntawm cov txheej epitaxial zoo.

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