वाष्प प्रावस्था एपिटॅक्सी (VPE) प्रक्रियेदरम्यान, सबस्ट्रेटला आधार देणे आणि वाढ प्रक्रियेदरम्यान एकसमान उष्णता सुनिश्चित करणे ही पेडस्टलची भूमिका असते. वेगवेगळ्या वाढीच्या परिस्थिती आणि मटेरियल सिस्टीमसाठी विविध प्रकारचे पेडस्टल योग्य असतात. वाष्प प्रावस्थेमध्ये सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या काही पेडस्टलचे प्रकार खालीलप्रमाणे आहेत.एपिटॅक्सी:
बॅरल पेडस्टल
बॅरल पेडस्टलचा वापर सामान्यतः हॉरिझॉन्टल किंवा टिल्टेड व्हेपर फेज एपिटॅक्सी सिस्टीममध्ये केला जातो. ते सबस्ट्रेटला धरून ठेवतात आणि सबस्ट्रेटवरून वायूला वाहू देतात, ज्यामुळे एकसमान एपिटॅक्सियल वाढ साधण्यास मदत होते.
तबकडीच्या आकाराचा आधारस्तंभ (उभा आधारस्तंभ)
डिस्क-आकाराचे पेडस्टल व्हर्टिकल व्हेपर फेज एपिटॅक्सी सिस्टीमसाठी योग्य आहेत, ज्यामध्ये सबस्ट्रेट उभे ठेवले जाते. ही रचना सबस्ट्रेट आणि ससेप्टरमधील संपर्क क्षेत्र कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे उष्णतेचा अपव्यय आणि संभाव्य दूषितीकरण कमी होते.
क्षैतिज ससेप्टर
वाष्प अवस्थेतील एपिटॅक्सीमध्ये क्षैतिज ससेप्टर्स कमी प्रमाणात आढळतात, परंतु काही विशिष्ट वाढ प्रणालींमध्ये क्षैतिज दिशेने एपिटॅक्सियल वाढ होण्यासाठी त्यांचा वापर केला जाऊ शकतो.
मोनोलिथिक एपिटॅक्सियल रिॲक्शन ससेप्टर
मोनोलिथिक एपिटॅक्सियल रिॲक्शन ससेप्टर एकाच सबस्ट्रेटसाठी डिझाइन केलेला आहे, जो अधिक अचूक तापमान नियंत्रण आणि उत्तम थर्मल आयसोलेशन प्रदान करू शकतो, आणि उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल थरांच्या वाढीसाठी योग्य आहे.
उत्पादनाविषयी माहिती आणि सल्ल्यासाठी आमच्या वेबसाइटवर आपले स्वागत आहे.
आमची वेबसाइट: https://www.vet-china.com/
पोस्ट करण्याची वेळ: ३० जुलै २०२४