वाष्प टप्प्यातील एपिटॅक्सी (VPE) प्रक्रियेदरम्यान, पेडेस्टलची भूमिका सब्सट्रेटला आधार देणे आणि वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान एकसमान उष्णता सुनिश्चित करणे आहे. वेगवेगळ्या प्रकारचे पेडेस्टल वेगवेगळ्या वाढीच्या परिस्थिती आणि भौतिक प्रणालींसाठी योग्य आहेत. वाष्प टप्प्यात सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या काही पेडेस्टल प्रकार खालीलप्रमाणे आहेत.अतिसूक्ष्मता:
बॅरल पेडेस्टल
बॅरल पेडेस्टल्स सामान्यतः क्षैतिज किंवा झुकलेल्या वाष्प टप्प्यातील एपिटॅक्सि सिस्टममध्ये वापरले जातात. ते सब्सट्रेटला धरून ठेवू शकतात आणि गॅसला सब्सट्रेटवरून वाहू देतात, ज्यामुळे एकसमान एपिटॅक्सियल वाढ साध्य होण्यास मदत होते.
डिस्क-आकाराचे पेडेस्टल (उभ्या पेडेस्टल)
डिस्क-आकाराचे पेडेस्टल्स उभ्या वाष्प टप्प्यातील एपिटॅक्सी सिस्टमसाठी योग्य आहेत, ज्यामध्ये सब्सट्रेट उभ्या स्थितीत ठेवला जातो. हे डिझाइन सब्सट्रेट आणि ससेप्टरमधील संपर्क क्षेत्र कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे उष्णता कमी होणे आणि संभाव्य दूषितता कमी होते.
क्षैतिज संवेदी
वाष्प टप्प्यातील एपिटॅक्सीमध्ये क्षैतिज ससेप्टर्स कमी सामान्य असतात, परंतु काही विशिष्ट वाढ प्रणालींमध्ये ते क्षैतिज दिशेने एपिटॅक्सियल वाढ करण्यास अनुमती देण्यासाठी वापरले जाऊ शकतात.
मोनोलिथिक एपिटॅक्सियल रिअॅक्शन ससेप्टर
मोनोलिथिक एपिटॅक्सियल रिअॅक्शन ससेप्टर एकाच सब्सट्रेटसाठी डिझाइन केलेले आहे, जे अधिक अचूक तापमान नियंत्रण आणि चांगले थर्मल आयसोलेशन प्रदान करू शकते, जे उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल थरांच्या वाढीसाठी योग्य आहे.
उत्पादन माहिती आणि सल्लामसलतसाठी आमच्या वेबसाइटवर आपले स्वागत आहे.
आमची वेबसाइट: https://www.vet-china.com/
पोस्ट वेळ: जुलै-३०-२०२४