Sajrone proses epitaksi fase uap (VPE), peran pedestal yaiku kanggo ndhukung substrat lan njamin pemanasan sing seragam sajrone proses pertumbuhan. Jinis pedestal sing beda-beda cocog kanggo kahanan pertumbuhan lan sistem material sing beda-beda. Ing ngisor iki sawetara jinis pedestal sing umum digunakake ing fase uapepitaksi:
Alas laras
Pedestal laras umume digunakake ing sistem epitaksi fase uap horisontal utawa miring. Pedestal iki bisa nahan substrat lan ngidini gas mili ing ndhuwur substrat, sing mbantu entuk pertumbuhan epitaksial sing seragam.
Alas awujud cakram (alas vertikal)
Pedestal awujud cakram cocok kanggo sistem epitaksi fase uap vertikal, ing ngendi substrat diselehake kanthi vertikal. Desain iki mbantu nyuda area kontak antarane substrat lan susceptor, saengga nyuda mundhut panas lan potensi kontaminasi.
Susceptor horisontal
Susceptor horisontal kurang umum ing epitaksi fase uap, nanging bisa digunakake ing sawetara sistem pertumbuhan tartamtu kanggo ngidini pertumbuhan epitaksial ing arah horisontal.
Susceptor reaksi epitaksial monolitik
Susceptor reaksi epitaksial monolitik dirancang kanggo substrat tunggal, sing bisa nyedhiyakake kontrol suhu sing luwih tepat lan isolasi termal sing luwih apik, cocok kanggo pertumbuhan lapisan epitaksial sing berkualitas tinggi.
Sugeng rawuh ing situs web kami kanggo informasi lan konsultasi produk.
Situs web kita: https://www.vet-china.com/
Wektu kiriman: 30 Juli 2024