Буу фазасынын эпитаксиясы (ВПЭ) процессинде, пьедесталдын ролу субстратты колдоо жана өсүү процессинде бирдей жылытууну камсыз кылуу болуп саналат. Ар кандай өсүү шарттарына жана материалдык системаларга ар кандай типтеги пьедесталдар ылайыктуу. Төмөндө буу фазасында кеңири колдонулган пьедестал түрлөрүнүн айрымдары келтирилген.эпитаксия:
Баррель пьедесты
Бочкалуу постаменттер көбүнчө горизонталдык же жантайыңкы буу фазасындагы эпитакси системаларында колдонулат. Алар субстратты кармап, газдын субстраттын үстүнөн агышына мүмкүндүк берет, бул эпитаксиалдык өсүштүн бирдей болушуна жардам берет.
Диск формасындагы постамент (тик постамент)
Диск формасындагы тумбаларды вертикалдуу буу фазасындагы эпитакси системалары үчүн колдонсо болот, анда субстрат вертикалдуу жайгаштырылат. Бул конструкция субстрат менен сусцептордун ортосундагы байланыш аянтын азайтууга жардам берет, ошону менен жылуулуктун жоголушун жана мүмкүн болгон булганууну азайтат.
Горизонталдык сусцептор
Горизонталдык сусцепторлор буу фазасындагы эпитаксияда азыраак кездешет, бирок эпитаксиалдык өсүштү горизонталдык багытта камсыз кылуу үчүн кээ бир белгилүү өсүү системаларында колдонулушу мүмкүн.
Монолиттик эпитаксиалдык реакциянын сусцептору
Монолиттик эпитаксиалдык реакция сусцептору бир субстрат үчүн иштелип чыккан, ал температураны так көзөмөлдөөнү жана жылуулукту жакшыраак изоляциялоону камсыздай алат, жогорку сапаттагы эпитаксиалдык катмарлардын өсүшүнө ылайыктуу.
Продукция жөнүндө маалымат алуу жана консультация алуу үчүн биздин веб-сайтка кош келиңиз.
Биздин веб-сайт: https://www.vet-china.com/
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 30-июлу