Bugʻ fazasi epitaksiyasi (VPE) jarayonida poydevorning roli substratni qoʻllab-quvvatlash va oʻsish jarayonida bir tekis isitishni taʼminlashdan iborat. Turli xil poydevorlar turli oʻsish sharoitlari va material tizimlari uchun mos keladi. Quyida bugʻ fazasida keng qoʻllaniladigan poydevor turlari keltirilgan.epitaksiya:
Barrel poydevori
Barrel poydevorlari odatda gorizontal yoki qiyshaygan bug 'fazali epitaksiya tizimlarida qo'llaniladi. Ular substratni ushlab turishi va gazning substrat ustidan oqishiga imkon berishi mumkin, bu esa bir tekis epitaksial o'sishga erishishga yordam beradi.
Disk shaklidagi poydevor (vertikal poydevor)
Disk shaklidagi poydevorlar vertikal bug 'fazasi epitaksiyasi tizimlari uchun mos keladi, bunda substrat vertikal ravishda joylashtiriladi. Ushbu dizayn substrat va susseptor orasidagi aloqa maydonini kamaytirishga yordam beradi va shu bilan issiqlik yo'qotilishi va potentsial ifloslanishni kamaytiradi.
Gorizontal susseptor
Gorizontal susseptorlar bug 'fazasi epitaksiyasida kamroq uchraydi, ammo ular ba'zi bir o'sish tizimlarida gorizontal yo'nalishda epitaksial o'sishni ta'minlash uchun ishlatilishi mumkin.
Monolit epitaksial reaksiya susseptori
Monolit epitaksial reaksiya susseptori bitta substrat uchun mo'ljallangan bo'lib, u yuqori sifatli epitaksial qatlamlarning o'sishi uchun mos keladigan aniqroq haroratni nazorat qilish va yaxshiroq issiqlik izolyatsiyasini ta'minlaydi.
Mahsulot haqida ma'lumot va maslahat olish uchun veb-saytimizga xush kelibsiz.
Bizning veb-saytimiz: https://www.vet-china.com/
Nashr vaqti: 2024-yil 30-iyul