در طول فرآیند اپیتاکسی فاز بخار (VPE)، نقش پایه پشتیبانی از زیرلایه و تضمین گرمایش یکنواخت در طول فرآیند رشد است. انواع مختلف پایهها برای شرایط رشد و سیستمهای مواد مختلف مناسب هستند. در ادامه برخی از انواع پایههای رایج در فاز بخار آورده شده است.اپیتاکسی:
پایه بشکه
پایههای بشکهای معمولاً در سیستمهای اپیتاکسی فاز بخار افقی یا کج استفاده میشوند. آنها میتوانند زیرلایه را نگه دارند و به گاز اجازه دهند تا روی زیرلایه جریان یابد که به دستیابی به رشد اپیتاکسی یکنواخت کمک میکند.
پایه دیسکی شکل (پایه عمودی)
پایههای دیسکی شکل برای سیستمهای اپیتاکسی فاز بخار عمودی، که در آنها زیرلایه به صورت عمودی قرار میگیرد، مناسب هستند. این طراحی به کاهش سطح تماس بین زیرلایه و سوسپتور کمک میکند و در نتیجه اتلاف گرما و آلودگی احتمالی را کاهش میدهد.
گیرنده افقی
جاذبهای افقی در اپیتاکسی فاز بخار کمتر رایج هستند، اما ممکن است در برخی سیستمهای رشد خاص برای امکان رشد اپیتاکسی در جهت افقی مورد استفاده قرار گیرند.
گیرنده واکنش اپیتاکسیال یکپارچه
گیرنده واکنش اپیتاکسیال یکپارچه برای یک زیرلایه واحد طراحی شده است که میتواند کنترل دمای دقیقتر و ایزولاسیون حرارتی بهتری را فراهم کند و برای رشد لایههای اپیتاکسیال با کیفیت بالا مناسب باشد.
برای کسب اطلاعات و مشاوره در مورد محصولات به وب سایت ما خوش آمدید.
وبسایت ما: https://www.vet-china.com/
زمان ارسال: ۳۰ ژوئیه ۲۰۲۴