Pandan pwosesis epitaksi faz vapè (VPE) a, wòl pedestal la se sipòte substra a epi asire yon chofaj inifòm pandan pwosesis kwasans lan. Diferan kalite pedestal yo apwopriye pou diferan kondisyon kwasans ak sistèm materyèl. Men kèk nan kalite pedestal ki pi souvan itilize nan faz vapè.epitaksi:
Pedestal barik
Yo souvan itilize pedestal barik nan sistèm epitaksi faz vapè orizontal oswa enkline. Yo ka kenbe substra a epi pèmèt gaz la koule sou substra a, sa ki ede reyalize yon kwasans epitaksi inifòm.
Pedestal ki gen fòm disk (pedestal vètikal)
Pedestal ki gen fòm disk yo apwopriye pou sistèm epitaksi faz vapè vètikal, kote yo mete substra a vètikalman. Konsepsyon sa a ede diminye zòn kontak ant substra a ak sisèptè a, kidonk diminye pèt chalè ak kontaminasyon potansyèl.
Susèpteur orizontal
Susèpteur orizontal yo mwens komen nan epitaksi faz vapè, men yo ka itilize nan kèk sistèm kwasans espesifik pou pèmèt kwasans epitaksi nan yon direksyon orizontal.
Sisèpteur reyaksyon epitaksyal monolitik
Susèpteur reyaksyon epitaksyal monolitik la fèt pou yon sèl substra, ki ka bay yon kontwòl tanperati ki pi presi ak yon pi bon izolasyon tèmik, apwopriye pou kwasans kouch epitaksyal ki gen bon kalite.
Byenveni sou sit entènèt nou an pou enfòmasyon sou pwodwi ak konsiltasyon.
Sitwèb nou an: https://www.vet-china.com/
Dat piblikasyon: 30 Jiyè 2024