По време на процеса на парофазна епитаксия (VPE), ролята на пиедестала е да поддържа субстрата и да осигурява равномерно нагряване по време на процеса на растеж. Различните видове пиедестали са подходящи за различни условия на растеж и материални системи. По-долу са изброени някои от често използваните видове пиедестали в парофазна епитаксия.епитаксия:
Пиедестал за бъчви
Барелните пиедестали обикновено се използват в хоризонтални или наклонени системи за парофазна епитаксия. Те могат да държат субстрата и да позволяват на газа да тече върху него, което спомага за постигане на равномерен епитаксиален растеж.
Дисков пиедестал (вертикален пиедестал)
Дисковидни пиедестали са подходящи за вертикални системи за парофазна епитаксия, в които субстратът е поставен вертикално. Този дизайн спомага за намаляване на контактната площ между субстрата и токоприемника, като по този начин се намаляват загубите на топлина и потенциалното замърсяване.
Хоризонтален токоприемник
Хоризонталните сусцептори са по-рядко срещани при парофазна епитаксия, но могат да се използват в някои специфични системи за растеж, за да се позволи епитаксиален растеж в хоризонтална посока.
Монолитен епитаксиален реакционен сусцептор
Монолитният епитаксиален реакционен сусцептор е проектиран за един субстрат, което може да осигури по-прецизен контрол на температурата и по-добра термична изолация, подходящ за растежа на висококачествени епитаксиални слоеве.
Добре дошли на нашия уебсайт за информация относно продуктите и консултации.
Нашият уебсайт: https://www.vet-china.com/
Време на публикуване: 30 юли 2024 г.