Aurfaasiepitaksia (VPE) protsessi käigus on aluse roll substraadi toetamine ja ühtlane kuumenemine kasvuprotsessi ajal. Erinevat tüüpi alused sobivad erinevatele kasvutingimustele ja materjalisüsteemidele. Järgnevalt on toodud mõned aurfaasis tavaliselt kasutatavad alusetüübid.epitaksia:
Tünnipjedestaal
Tünnialuseid kasutatakse tavaliselt horisontaalsetes või kallutatud aurfaasiepitaksiasüsteemides. Need suudavad substraati hoida ja lasta gaasil üle substraadi voolata, mis aitab saavutada ühtlast epitaksiaalset kasvu.
Kettakujuline alus (vertikaalne alus)
Kettakujulised alused sobivad vertikaalsete aurufaasiepitaksiasüsteemide jaoks, kus substraat asetatakse vertikaalselt. See konstruktsioon aitab vähendada substraadi ja sustseptori vahelist kontaktpinda, vähendades seeläbi soojuskadu ja võimalikku saastumist.
Horisontaalne sustseptor
Horisontaalsed sustseptorid on aurfaasi epitaksias vähem levinud, kuid neid saab kasutada mõnes spetsiifilises kasvusüsteemis, et võimaldada epitaksiaalset kasvu horisontaalses suunas.
Monoliitne epitaksiaalse reaktsiooni sustseptor
Monoliitne epitaksiaalne reaktsioonisusceptor on loodud ühele substraadile, mis võimaldab täpsemat temperatuuri reguleerimist ja paremat soojusisolatsiooni, sobides kvaliteetsete epitaksiaalsete kihtide kasvatamiseks.
Tere tulemast meie veebisaidile tooteinfo ja konsultatsioonide saamiseks.
Meie veebisait: https://www.vet-china.com/
Postituse aeg: 30. juuli 2024