Tidens it dampfase-epitaksy (VPE)-proses is de rol fan it sokkel om it substraat te stypjen en te soargjen foar unifoarme ferwaarming tidens it groeiproses. Ferskillende soarten sokkels binne geskikt foar ferskate groeiomstannichheden en materiaalsystemen. Hjirûnder binne guon fan 'e meast brûkte sokkeltypen yn dampfase.epitaksy:
Barrel pedestal
Tonnelige pedestalen wurde faak brûkt yn horizontale of kantelde dampfaze-epitaksysystemen. Se kinne it substraat hâlde en it gas oer it substraat streame litte, wat helpt om unifoarme epitaksiale groei te berikken.
Skiiffoarmige sokkel (fertikale sokkel)
Skiiffoarmige sokkels binne geskikt foar fertikale dampfaze-epitaxysystemen, wêryn't it substraat fertikaal pleatst wurdt. Dit ûntwerp helpt it kontaktgebiet tusken it substraat en de susceptor te ferminderjen, wêrtroch waarmteferlies en potinsjele fersmoarging wurde fermindere.
Horizontale ûntfanger
Horizontale susceptors komme minder faak foar yn dampfaze-epitaxy, mar kinne brûkt wurde yn guon spesifike groeisystemen om epitaksiale groei yn in horizontale rjochting mooglik te meitsjen.
Monolityske epitaksiale reaksje-susceptor
De monolityske epitaksiale reaksje-susceptor is ûntworpen foar ien substraat, dat krekter temperatuerkontrôle en bettere termyske isolaasje kin leverje, geskikt foar de groei fan epitaksiale lagen fan hege kwaliteit.
Wolkom op ús webside foar produktynformaasje en oerlis.
Us webside: https://www.vet-china.com/
Pleatsingstiid: 30 july 2024