Gjatë procesit të epitaksisë në fazën e avullit (VPE), roli i piedestalit është të mbështesë substratin dhe të sigurojë ngrohje uniforme gjatë procesit të rritjes. Lloje të ndryshme piedestalesh janë të përshtatshme për kushte të ndryshme rritjeje dhe sisteme materialesh. Më poshtë janë disa nga llojet e piedestaleve që përdoren zakonisht në fazën e avullit.epitaksi:
Piedestal fuçie
Piedestalet në formë fuçie përdoren zakonisht në sistemet epitaksiale horizontale ose të pjerrëta në fazën e avullit. Ato mund ta mbajnë substratin dhe të lejojnë që gazi të rrjedhë mbi substrat, gjë që ndihmon në arritjen e rritjes uniforme epitaksiale.
Piedestal në formë disku (piedestal vertikal)
Piedestalet në formë disku janë të përshtatshme për sistemet vertikale të epitaksise në fazën e avullit, në të cilat substrati vendoset vertikalisht. Ky dizajn ndihmon në zvogëlimin e sipërfaqes së kontaktit midis substratit dhe susceptorit, duke zvogëluar kështu humbjen e nxehtësisë dhe ndotjen e mundshme.
Susceptor horizontal
Susceptorët horizontalë janë më pak të zakonshëm në epitaksinë në fazën e avullit, por mund të përdoren në disa sisteme specifike rritjeje për të lejuar rritjen epitaksiale në një drejtim horizontal.
Sceptori i reaksionit epitaksial monolit
Susceptori monolit i reaksionit epitaksial është projektuar për një substrat të vetëm, i cili mund të ofrojë kontroll më të saktë të temperaturës dhe izolim termik më të mirë, i përshtatshëm për rritjen e shtresave epitaksiale me cilësi të lartë.
Mirë se vini në faqen tonë të internetit për informacion dhe konsultime mbi produktet.
Uebfaqja jonë: https://www.vet-china.com/
Koha e postimit: 30 korrik 2024