Уурын фазын эпитакси (VPE) процессын үед суурь нь суурь хэсгийг дэмжиж, ургалтын явцад жигд халаалтыг хангах үүрэгтэй. Төрөл бүрийн суурь нь өөр өөр ургалтын нөхцөл, материалын системд тохиромжтой. Дараах нь уурын фазад түгээмэл хэрэглэгддэг суурь төрлүүдийн заримыг дурдлаа.эпитакси:
Торхны суурь
Торхны суурь нь хэвтээ эсвэл хазайсан уурын фазын эпитакси системд түгээмэл хэрэглэгддэг. Эдгээр нь субстратыг барьж, хий нь субстрат дээгүүр урсах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь эпитаксиал ургалтыг жигд болгоход тусалдаг.
Диск хэлбэртэй суурь (босоо суурь)
Диск хэлбэртэй суурь нь суурь нь босоо байрлалтай босоо уурын фазын эпитакси системд тохиромжтой. Энэхүү загвар нь суурь болон сусцепторын хоорондох холбоо барих хэсгийг багасгахад тусалдаг бөгөөд ингэснээр дулааны алдагдал болон болзошгүй бохирдлыг бууруулдаг.
Хэвтээ хүлээн авагч
Хэвтээ сусцепторууд нь уурын фазын эпитаксид бага түгээмэл байдаг боловч хэвтээ чиглэлд эпитаксиал өсөлтийг хангахын тулд зарим тодорхой өсөлтийн системд ашиглаж болно.
Монолит эпитаксиал урвалын суспенз
Цул эпитаксиаль урвалын сусцептор нь нэг субстратад зориулагдсан бөгөөд энэ нь илүү нарийвчлалтай температурын хяналт, илүү сайн дулаан тусгаарлалтыг хангаж, өндөр чанартай эпитаксиаль давхаргын ургалтад тохиромжтой.
Бүтээгдэхүүний мэдээлэл болон зөвлөгөө авахыг хүсвэл манай вэбсайтад тавтай морилно уу.
Манай вэбсайт: https://www.vet-china.com/
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 7-р сарын 30