Током процеса епитаксе у парној фази (VPE), улога постоља је да подржи подлогу и обезбеди равномерно загревање током процеса раста. Различите врсте постоља су погодне за различите услове раста и системе материјала. У наставку су наведени неки од уобичајено коришћених типова постоља у парној фази.епитаксија:
Постоље за буре
Постоља за бурета се обично користе у хоризонталним или нагнутим системима за епитаксију у парној фази. Она могу да држе подлогу и омогуће гасу да тече преко подлоге, што помаже у постизању равномерног епитаксијалног раста.
Постоље у облику диска (вертикално постоље)
Постоља у облику диска су погодна за вертикалне системе епитаксије у парној фази, у којима је подлога постављена вертикално. Овај дизајн помаже у смањењу површине контакта између подлоге и сусцептора, чиме се смањује губитак топлоте и потенцијална контаминација.
Хоризонтални сусцептор
Хоризонтални сусцептори су ређи у епитаксији у парној фази, али се могу користити у неким специфичним системима раста како би се омогућио епитаксијални раст у хоризонталном смеру.
Монолитни епитаксијални реакциони сусцептор
Монолитни епитаксијални реакциони сусцептор је дизајниран за једну подлогу, што може да обезбеди прецизнију контролу температуре и бољу термичку изолацију, погодну за раст висококвалитетних епитаксијалних слојева.
Добродошли на наш веб-сајт за информације о производима и консултације.
Наш веб-сајт: https://www.vet-china.com/
Време објаве: 30. јул 2024.