Trong quá trình epitaxy pha hơi (VPE), vai trò của bệ là hỗ trợ chất nền và đảm bảo nhiệt độ đồng đều trong quá trình phát triển. Các loại bệ khác nhau phù hợp với các điều kiện phát triển và hệ thống vật liệu khác nhau. Sau đây là một số loại bệ thường được sử dụng trong pha hơisự mọc lên:
Bệ thùng
Bệ đỡ hình thùng thường được sử dụng trong các hệ thống epitaxy pha hơi nằm ngang hoặc nghiêng. Chúng có thể giữ chất nền và cho phép khí chảy qua chất nền, giúp đạt được sự phát triển epitaxy đồng đều.
Bệ hình đĩa (bệ đứng)
Bệ hình đĩa thích hợp cho hệ thống epitaxy pha hơi thẳng đứng, trong đó chất nền được đặt thẳng đứng. Thiết kế này giúp giảm diện tích tiếp xúc giữa chất nền và bộ phận tiếp nhận, do đó giảm mất nhiệt và khả năng nhiễm bẩn.
Bộ cảm ứng ngang
Các thụ thể nằm ngang ít phổ biến hơn trong epitaxy pha hơi, nhưng có thể được sử dụng trong một số hệ thống phát triển cụ thể để cho phép phát triển epitaxy theo hướng ngang.
Phản ứng epitaxial đơn khối dễ bị tổn thương
Bộ phận phản ứng epitaxial đơn khối được thiết kế cho một chất nền duy nhất, có thể kiểm soát nhiệt độ chính xác hơn và cách nhiệt tốt hơn, phù hợp cho việc phát triển các lớp epitaxial chất lượng cao.
Chào mừng bạn đến với trang web của chúng tôi để biết thông tin sản phẩm và tư vấn.
Trang web của chúng tôi: https://www.vet-china.com/
Thời gian đăng: 30-07-2024