Under ångfasepitaxin (VPE) är piedestalens roll att stödja substratet och säkerställa jämn uppvärmning under tillväxtprocessen. Olika typer av piedestaler är lämpliga för olika tillväxtförhållanden och materialsystem. Följande är några av de vanligaste piedestaltyperna i ångfas.epitaxi:
Piedestal för fat
Tunnpiedestaler används ofta i horisontella eller lutande ångfasepitaxisystem. De kan hålla substratet och låta gasen flöda över substratet, vilket bidrar till att uppnå en jämn epitaxiell tillväxt.
Skivformad piedestal (vertikal piedestal)
Skivformade piedestaler är lämpliga för vertikala ångfasepitaxisystem, där substratet placeras vertikalt. Denna design bidrar till att minska kontaktytan mellan substratet och susceptorn, vilket minskar värmeförlust och potentiell kontaminering.
Horisontell susceptor
Horisontella susceptorer är mindre vanliga vid ångfasepitaxi, men kan användas i vissa specifika tillväxtsystem för att möjliggöra epitaxiell tillväxt i horisontell riktning.
Monolitisk epitaxiell reaktionsmottagare
Den monolitiska epitaxiella reaktionssusceptorn är konstruerad för ett enda substrat, vilket kan ge mer exakt temperaturkontroll och bättre termisk isolering, lämplig för tillväxt av högkvalitativa epitaxiella lager.
Välkommen till vår webbplats för produktinformation och konsultation.
Vår webbplats: https://www.vet-china.com/
Publiceringstid: 30 juli 2024