Nígbà ìlànà ìpele vapor epitaxy (VPE), ipa ti pedestal ni lati ṣe atilẹyin fun substrate ati rii daju pe o gbona ni akoko idagbasoke. Awọn oriṣiriṣi awọn pedestal ni o dara fun awọn ipo idagbasoke ati awọn eto ohun elo oriṣiriṣi. Awọn atẹle ni diẹ ninu awọn iru pedestal ti a lo nigbagbogbo ni ipele vaporepitaxi:
Pẹpẹ ìtàgé ìtàgé
A sábà máa ń lo àwọn ìpele ìgbálẹ̀ nínú àwọn ètò epitaxy vapor phase petele tàbí tilted. Wọ́n lè di substrate náà mú kí ó sì jẹ́ kí gaasi ṣàn lórí substrate náà, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti ní ìdàgbàsókè epitaxial kan náà.
Ibùdó onígun mẹ́rin (ibùdó onígun mẹ́rin)
Àwọn ìpele onípele dígí yẹ fún àwọn ètò epitaxy onípele inaro, níbi tí a gbé ìpele náà sí ní inaro. Apẹẹrẹ yìí ń ran lọ́wọ́ láti dín agbègbè tí ó wà láàrín ìpele àti ìfàmọ́ra kù, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń dín ìpàdánù ooru àti ìbàjẹ́ tí ó lè ṣẹlẹ̀ kù.
Ẹ̀rọ ìfàmọ́ra tí ó wà ní ìpele
Àwọn ohun tí ó lè fa ìdènà ìpele kò wọ́pọ̀ rárá nínú epitaxy ìpele vapor, ṣùgbọ́n a lè lò ó nínú àwọn ètò ìdàgbàsókè pàtó kan láti jẹ́ kí ìdàgbàsókè epitaxial wà ní ìtọ́sọ́nà petele.
Olùfarahan ìhùwàsí epitaxial monolithic
A ṣe apẹrẹ ohun elo amúṣẹ́dá epitaxial monolithic fun substrate kan ṣoṣo, eyiti o le pese iṣakoso iwọn otutu ti o peye diẹ sii ati iyasọtọ ooru ti o dara julọ, ti o dara fun idagbasoke awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial ti o ga julọ.
Ẹ káàbọ̀ sí ojú-òpó wẹ́ẹ̀bù wa fún ìwífún nípa ọjà àti ìgbìmọ̀.
Oju opo wẹẹbu wa: https://www.vet-china.com/
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-30-2024