Yn ystod y broses epitacsi cyfnod anwedd (VPE), rôl y pedestal yw cynnal y swbstrad a sicrhau gwresogi unffurf yn ystod y broses dyfu. Mae gwahanol fathau o bedestalau yn addas ar gyfer gwahanol amodau twf a systemau deunydd. Dyma rai o'r mathau o bedestalau a ddefnyddir yn gyffredin mewn cyfnod anweddepitacsi:
Pedestal y gasgen
Defnyddir pedestalau casgen yn gyffredin mewn systemau epitacsi cyfnod anwedd llorweddol neu ogwyddog. Gallant ddal y swbstrad a chaniatáu i'r nwy lifo dros y swbstrad, sy'n helpu i gyflawni twf epitacsiaidd unffurf.
Pedestal siâp disg (pedestal fertigol)
Mae pedestalau siâp disg yn addas ar gyfer systemau epitacsi cyfnod anwedd fertigol, lle mae'r swbstrad wedi'i osod yn fertigol. Mae'r dyluniad hwn yn helpu i leihau'r arwynebedd cyswllt rhwng y swbstrad a'r susceptor, a thrwy hynny leihau colli gwres a halogiad posibl.
Susceptor llorweddol
Mae susceptorau llorweddol yn llai cyffredin mewn epitacsi cyfnod anwedd, ond gellir eu defnyddio mewn rhai systemau twf penodol i ganiatáu twf epitacsial i gyfeiriad llorweddol.
Susceptor adwaith epitacsial monolithig
Mae'r susceptor adwaith epitacsial monolithig wedi'i gynllunio ar gyfer un swbstrad, a all ddarparu rheolaeth tymheredd mwy manwl gywir ac ynysu thermol gwell, sy'n addas ar gyfer twf haenau epitacsial o ansawdd uchel.
Croeso i'n gwefan am wybodaeth am gynhyrchion ac ymgynghoriad.
Ein gwefan: https://www.vet-china.com/
Amser postio: Gorff-30-2024