Selama proses epitaksi fase uap (VPE), peran alas adalah untuk menyangga substrat dan memastikan pemanasan yang merata selama proses pertumbuhan. Berbagai jenis alas cocok untuk berbagai kondisi pertumbuhan dan sistem material. Berikut ini adalah beberapa jenis alas yang umum digunakan dalam fase uap.epitaksi:
Alas tong
Alas barel umumnya digunakan dalam sistem epitaksi fase uap horizontal atau miring. Alas ini dapat menahan substrat dan memungkinkan gas mengalir di atas substrat, yang membantu mencapai pertumbuhan epitaksi yang seragam.
Alas berbentuk cakram (alas vertikal)
Alas berbentuk cakram cocok untuk sistem epitaksi fase uap vertikal, di mana substrat ditempatkan secara vertikal. Desain ini membantu mengurangi area kontak antara substrat dan susceptor, sehingga mengurangi kehilangan panas dan potensi kontaminasi.
Suseptor horisontal
Susceptor horizontal kurang umum dalam epitaksi fase uap, tetapi dapat digunakan dalam beberapa sistem pertumbuhan khusus untuk memungkinkan pertumbuhan epitaksi dalam arah horizontal.
Suseptor reaksi epitaksial monolitik
Susceptor reaksi epitaksial monolitik dirancang untuk substrat tunggal, yang dapat memberikan kontrol suhu yang lebih tepat dan isolasi termal yang lebih baik, cocok untuk pertumbuhan lapisan epitaksial berkualitas tinggi.
Selamat datang di situs web kami untuk informasi dan konsultasi produk.
Situs web kami: https://www.vet-china.com/
Waktu posting: 30-Jul-2024