Selama proses epitaksi fase uap (VPE), peran alas (pedestal) adalah untuk menopang substrat dan memastikan pemanasan yang seragam selama proses pertumbuhan. Berbagai jenis alas cocok untuk kondisi pertumbuhan dan sistem material yang berbeda. Berikut adalah beberapa jenis alas yang umum digunakan dalam epitaksi fase uap.epitaksi:
Dudukan tong
Dudukan berbentuk barel umumnya digunakan dalam sistem epitaksi fase uap horizontal atau miring. Dudukan ini dapat menahan substrat dan memungkinkan gas mengalir di atas substrat, yang membantu mencapai pertumbuhan epitaksi yang seragam.
Alas berbentuk cakram (alas vertikal)
Dudukan berbentuk cakram cocok untuk sistem epitaksi fase uap vertikal, di mana substrat ditempatkan secara vertikal. Desain ini membantu mengurangi area kontak antara substrat dan susceptor, sehingga mengurangi kehilangan panas dan potensi kontaminasi.
Susceptor horizontal
Susceptor horizontal kurang umum dalam epitaksi fase uap, tetapi dapat digunakan dalam beberapa sistem pertumbuhan spesifik untuk memungkinkan pertumbuhan epitaksi dalam arah horizontal.
Susceptor reaksi epitaksial monolitik
Susceptor reaksi epitaksial monolitik dirancang untuk substrat tunggal, yang dapat memberikan kontrol suhu yang lebih presisi dan isolasi termal yang lebih baik, cocok untuk pertumbuhan lapisan epitaksial berkualitas tinggi.
Selamat datang di situs web kami untuk informasi produk dan konsultasi.
Situs web kami: https://www.vet-china.com/
Waktu posting: 30 Juli 2024