Semasa proses epitaksi fasa wap (VPE), peranan alas adalah untuk menyokong substrat dan memastikan pemanasan seragam semasa proses pertumbuhan. Pelbagai jenis alas sesuai untuk keadaan pertumbuhan dan sistem bahan yang berbeza. Berikut adalah beberapa jenis alas yang biasa digunakan dalam fasa wapepitaksi:
Kekaki tong
Kekaki laras biasanya digunakan dalam sistem epitaksi fasa wap mendatar atau condong. Ia boleh memegang substrat dan membenarkan gas mengalir ke atas substrat, yang membantu mencapai pertumbuhan epitaksi yang seragam.
Alas berbentuk cakera (alas menegak)
Alas berbentuk cakera sesuai untuk sistem epitaksi fasa wap menegak, di mana substrat diletakkan secara menegak. Reka bentuk ini membantu mengurangkan kawasan sentuhan antara substrat dan susseptor, sekali gus mengurangkan kehilangan haba dan potensi pencemaran.
Susceptor mendatar
Susseptor mendatar kurang biasa dalam epitaksi fasa wap, tetapi boleh digunakan dalam beberapa sistem pertumbuhan tertentu untuk membolehkan pertumbuhan epitaksi dalam arah mendatar.
Susceptor tindak balas epitaksial monolitik
Susceptor tindak balas epitaksial monolitik direka bentuk untuk substrat tunggal, yang boleh memberikan kawalan suhu yang lebih tepat dan pengasingan haba yang lebih baik, sesuai untuk pertumbuhan lapisan epitaksial berkualiti tinggi.
Selamat datang ke laman web kami untuk maklumat dan konsultasi produk.
Laman web kami: https://www.vet-china.com/
Masa siaran: 30 Julai 2024