বাষ্প পর্যায়ের এপিট্যাক্সি (VPE) প্রক্রিয়ার সময়, পাদদেশের ভূমিকা হল সাবস্ট্রেটকে সমর্থন করা এবং বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার সময় অভিন্ন উত্তাপ নিশ্চিত করা। বিভিন্ন ধরণের পাদদেশ বিভিন্ন বৃদ্ধির অবস্থা এবং উপাদান ব্যবস্থার জন্য উপযুক্ত। বাষ্প পর্যায়ে সাধারণত ব্যবহৃত কিছু পাদদেশের ধরণ নিম্নরূপ।এপিট্যাক্সি:
ব্যারেল স্তম্ভ
ব্যারেল পেডেস্টালগুলি সাধারণত অনুভূমিক বা কাত বাষ্প পর্যায়ের এপিট্যাক্সি সিস্টেমে ব্যবহৃত হয়। তারা সাবস্ট্রেট ধরে রাখতে পারে এবং গ্যাসকে সাবস্ট্রেটের উপর দিয়ে প্রবাহিত হতে দেয়, যা অভিন্ন এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি অর্জনে সহায়তা করে।
ডিস্ক-আকৃতির পাদদেশ (উল্লম্ব পাদদেশ)
ডিস্ক-আকৃতির পেডেস্টালগুলি উল্লম্ব বাষ্প পর্যায়ের এপিট্যাক্সি সিস্টেমের জন্য উপযুক্ত, যেখানে সাবস্ট্রেটটি উল্লম্বভাবে স্থাপন করা হয়। এই নকশাটি সাবস্ট্রেট এবং সাসসেপ্টরের মধ্যে যোগাযোগের ক্ষেত্র কমাতে সাহায্য করে, যার ফলে তাপের ক্ষতি এবং সম্ভাব্য দূষণ হ্রাস পায়।
অনুভূমিক সাসপেকটর
বাষ্প পর্যায়ের এপিট্যাক্সিতে অনুভূমিক সাসপেকটর কম দেখা যায়, তবে কিছু নির্দিষ্ট বৃদ্ধি ব্যবস্থায় এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধিকে অনুভূমিক দিকে অনুমোদন করার জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে।
মনোলিথিক এপিট্যাক্সিয়াল বিক্রিয়া সংবেদক
মনোলিথিক এপিট্যাক্সিয়াল রিঅ্যাকশন সাসসেপ্টরটি একটি একক সাবস্ট্রেটের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা আরও সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং উন্নত তাপীয় বিচ্ছিন্নতা প্রদান করতে পারে, যা উচ্চ-মানের এপিট্যাক্সিয়াল স্তরগুলির বৃদ্ধির জন্য উপযুক্ত।
পণ্য সম্পর্কিত তথ্য এবং পরামর্শের জন্য আমাদের ওয়েবসাইটে স্বাগতম।
আমাদের ওয়েবসাইট: https://www.vet-china.com/
পোস্টের সময়: জুলাই-৩০-২০২৪