ভেপার ফেজ এপিট্যাক্সি (VPE) প্রক্রিয়ার সময়, পেডেস্টালের ভূমিকা হলো সাবস্ট্রেটকে সাপোর্ট দেওয়া এবং গ্রোথ প্রক্রিয়া চলাকালীন সুষম তাপ নিশ্চিত করা। বিভিন্ন গ্রোথ কন্ডিশন এবং মেটেরিয়াল সিস্টেমের জন্য বিভিন্ন ধরনের পেডেস্টাল উপযুক্ত। ভেপার ফেজে সাধারণত ব্যবহৃত কিছু পেডেস্টালের প্রকারভেদ নিচে দেওয়া হলো।এপিট্যাক্সি:
ব্যারেল পাদদেশ
ব্যারেল পেডেস্টাল সাধারণত হরাইজন্টাল বা টিল্টেড ভেপার ফেজ এপিট্যাক্সি সিস্টেমে ব্যবহৃত হয়। এগুলো সাবস্ট্রেটকে ধরে রাখতে পারে এবং সাবস্ট্রেটের উপর দিয়ে গ্যাস প্রবাহিত হতে দেয়, যা সুষম এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ অর্জনে সহায়তা করে।
চাকতি-আকৃতির পাদপীঠ (উল্লম্ব পাদপীঠ)
ডিস্ক-আকৃতির পেডেস্টালগুলো ভার্টিকাল ভেপার ফেজ এপিট্যাক্সি সিস্টেমের জন্য উপযুক্ত, যেখানে সাবস্ট্রেটকে উল্লম্বভাবে স্থাপন করা হয়। এই নকশাটি সাবস্ট্রেট এবং সাসসেপ্টরের মধ্যে সংস্পর্শ ক্ষেত্র কমাতে সাহায্য করে, যার ফলে তাপের অপচয় এবং সম্ভাব্য দূষণ হ্রাস পায়।
অনুভূমিক সাসসেপ্টর
ভেপার ফেজ এপিট্যাক্সিতে হরাইজন্টাল সাসসেপ্টরের ব্যবহার তুলনামূলকভাবে কম, তবে কিছু নির্দিষ্ট গ্রোথ সিস্টেমে হরাইজন্টাল দিকে এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ সম্ভব করার জন্য এটি ব্যবহার করা যেতে পারে।
মনোলিথিক এপিটেক্সিয়াল রিঅ্যাকশন সাসসেপ্টর
মনোলিথিক এপিটেক্সিয়াল রিঅ্যাকশন সাসসেপ্টরটি একটিমাত্র সাবস্ট্রেটের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা আরও সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং উন্নত তাপীয় বিচ্ছিন্নতা প্রদান করতে পারে এবং উচ্চ-মানের এপিটেক্সিয়াল লেয়ারের বৃদ্ধির জন্য উপযুক্ত।
পণ্য সম্পর্কিত তথ্য ও পরামর্শের জন্য আমাদের ওয়েবসাইটে আপনাকে স্বাগতম।
আমাদের ওয়েবসাইট: https://www.vet-china.com/
পোস্ট করার সময়: ৩০ জুলাই, ২০২৪