వేపర్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ (VPE) ప్రక్రియలో, సబ్స్ట్రేట్కు ఆధారాన్ని ఇవ్వడం మరియు పెరుగుదల ప్రక్రియ సమయంలో ఏకరీతిగా వేడెక్కేలా చూడటం పెడెస్టల్ యొక్క పాత్ర. వివిధ రకాల పెడెస్టల్స్ వేర్వేరు పెరుగుదల పరిస్థితులకు మరియు మెటీరియల్ సిస్టమ్స్కు అనుకూలంగా ఉంటాయి. వేపర్ ఫేజ్లో సాధారణంగా ఉపయోగించే కొన్ని పెడెస్టల్ రకాలు క్రింద ఇవ్వబడ్డాయి.ఎపిటాక్సీ:
బ్యారెల్ పీఠం
బ్యారెల్ పెడెస్టల్స్ను సాధారణంగా హారిజాంటల్ లేదా టిల్టెడ్ వేపర్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్స్లో ఉపయోగిస్తారు. ఇవి సబ్స్ట్రేట్ను పట్టుకొని, గ్యాస్ సబ్స్ట్రేట్పై ప్రవహించడానికి వీలు కల్పిస్తాయి, ఇది ఏకరీతి ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను సాధించడంలో సహాయపడుతుంది.
డిస్క్ ఆకారపు పీఠం (నిలువు పీఠం)
సబ్స్ట్రేట్ను నిలువుగా ఉంచే వర్టికల్ వేపర్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్లకు డిస్క్ ఆకారపు పీఠాలు అనుకూలంగా ఉంటాయి. ఈ డిజైన్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు ససెప్టర్ మధ్య స్పర్శా ప్రాంతాన్ని తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది, తద్వారా ఉష్ణ నష్టాన్ని మరియు సంభావ్య కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.
క్షితిజ సమాంతర ససెప్టర్
వేపర్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీలో హారిజాంటల్ ససెప్టార్లు అంత సాధారణం కాదు, కానీ కొన్ని నిర్దిష్ట గ్రోత్ సిస్టమ్స్లో ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను క్షితిజ సమాంతర దిశలో అనుమతించడానికి వీటిని ఉపయోగించవచ్చు.
మోనోలిథిక్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్షన్ ససెప్టర్
మోనోలిథిక్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్షన్ ససెప్టర్ ఒకే సబ్స్ట్రేట్ కోసం రూపొందించబడింది, ఇది మరింత కచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను మరియు మెరుగైన థర్మల్ ఐసోలేషన్ను అందించగలదు, ఇది అధిక-నాణ్యత గల ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
ఉత్పత్తి సమాచారం మరియు సంప్రదింపుల కోసం మా వెబ్సైట్కు స్వాగతం.
మా వెబ్సైట్: https://www.vet-china.com/
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జూలై-30-2024