В процессе парофазной эпитаксии (VPE) роль пьедестала заключается в поддержке подложки и обеспечении равномерного нагрева в процессе роста. Различные типы пьедесталов подходят для различных условий роста и систем материалов. Ниже приведены некоторые из наиболее часто используемых типов пьедесталов в парофазной эпитаксии.эпитаксия:
Стойка для бочки
Стойки-бочонки обычно используются в горизонтальных или наклонных системах эпитаксии из паровой фазы. Они могут удерживать подложку и позволять газу течь по подложке, что помогает достичь равномерного эпитаксиального роста.
Дискообразный постамент (вертикальный постамент)
Дискообразные пьедесталы подходят для вертикальных систем парофазной эпитаксии, в которых подложка располагается вертикально. Такая конструкция позволяет уменьшить площадь контакта между подложкой и токоприемником, тем самым уменьшая потери тепла и потенциальное загрязнение.
Горизонтальный токоприемник
Горизонтальные токоприемники менее распространены в парофазной эпитаксии, но могут использоваться в некоторых специальных системах роста, чтобы обеспечить эпитаксиальный рост в горизонтальном направлении.
Монолитный эпитаксиальный реакционный приемник
Монолитный эпитаксиальный реакционный приемник разработан для одной подложки, что позволяет обеспечить более точный контроль температуры и лучшую теплоизоляцию, подходящую для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев.
Добро пожаловать на наш сайт для получения информации о продукции и консультаций.
Наш сайт: https://www.vet-china.com/
Время публикации: 30 июля 2024 г.