В процессе парофазной эпитаксии (ПФЭ) роль подставки заключается в поддержке подложки и обеспечении равномерного нагрева в процессе роста. Различные типы подставок подходят для разных условий роста и материальных систем. Ниже приведены некоторые из наиболее часто используемых типов подставок в парофазной эпитаксии.эпитаксия:
Подставка для бочки
Подставки в виде цилиндров обычно используются в горизонтальных или наклонных системах парофазной эпитаксии. Они позволяют удерживать подложку и обеспечивают циркуляцию газа над ней, что способствует равномерному эпитаксиальному росту.
Дискообразный постамент (вертикальный постамент)
Подставки дискообразной формы подходят для вертикальных систем парофазной эпитаксии, в которых подложка располагается вертикально. Такая конструкция помогает уменьшить площадь контакта между подложкой и подложкой, тем самым снижая потери тепла и потенциальное загрязнение.
Горизонтальный сусцептор
Горизонтальные подложки реже используются в парофазной эпитаксии, но могут применяться в некоторых специфических системах роста для обеспечения эпитаксиального роста в горизонтальном направлении.
Монолитный эпитаксиальный реакционный суцептор
Монолитный эпитаксиальный реакционный подложечный элемент предназначен для использования на одной подложке, что обеспечивает более точный контроль температуры и лучшую теплоизоляцию, что подходит для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев.
Добро пожаловать на наш сайт, где вы найдете информацию о продукции и получите консультацию.
Наш сайт: https://www.vet-china.com/
Дата публикации: 30 июля 2024 г.