Пар фазасындагы эпитаксия (VPE) процессында, пьедесталның роле - субстратны тоту һәм үсеш процессында тигез җылынуны тәэмин итү. Төрле үсеш шартлары һәм материал системалары өчен төрле типтагы пьедесталлар яраклы. Түбәндә пар фазасында еш кулланыла торган пьедестал төрләре китерелгән.эпитаксия:
Мичкә пьедесты
Бочкалы постаментлар гадәттә горизонталь яки авыш пар фазалы эпитакси системаларында кулланыла. Алар субстратны тотып тора ала һәм газның субстрат өстеннән агып үтүенә мөмкинлек бирә, бу исә эпитаксиаль үсешнең тигез булуына ярдәм итә.
Диск формасындагы постамент (вертикаль постамент)
Диск формасындагы постаментлар вертикаль пар фазалы эпитакси системалары өчен яраклы, аларда субстрат вертикаль рәвештә урнаштырыла. Бу конструкция субстрат һәм сусцептор арасындагы контакт мәйданын киметергә ярдәм итә, шуның белән җылылык югалтуны һәм потенциаль пычрануны киметә.
Горизонталь сусцептор
Пар фазасындагы эпитаксиада горизонталь сусцепторлар сирәгрәк очрый, ләкин алар кайбер үсеш системаларында горизонталь юнәлештә эпитаксиаль үсешкә мөмкинлек бирү өчен кулланылырга мөмкин.
Монолитик эпитаксиаль реакция сусцепторы
Монолит эпитаксиаль реакция сусцепторы бер субстрат өчен эшләнгән, ул температураны төгәлрәк контрольдә тотуны һәм яхшырак җылылык изоляциясен тәэмин итә ала, югары сыйфатлы эпитаксиаль катламнар үсүе өчен яраклы.
Продукция турында мәгълүмат һәм консультация алу өчен безнең сайтка рәхим итегез.
Безнең сайт: https://www.vet-china.com/
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 30 июле