Í gufufasa-epitaxíu (VPE) ferlinu er hlutverk stallsins að styðja við undirlagið og tryggja jafna upphitun meðan á vaxtarferlinu stendur. Mismunandi gerðir af stallum henta fyrir mismunandi vaxtarskilyrði og efniskerfi. Eftirfarandi eru nokkrar af algengustu gerðir stalla í gufufasa.epitaxía:
Tunnustallur
Tunnupallar eru almennt notaðir í láréttum eða hallandi gufufasa epitaxískum kerfum. Þeir geta haldið undirlaginu og leyft gasinu að flæða yfir það, sem hjálpar til við að ná fram jafnri epitaxískum vexti.
Diskurlaga stallur (lóðréttur stallur)
Diskurlaga stallar henta fyrir lóðrétt gufufasa-epitaxísk kerfi, þar sem undirlagið er sett lóðrétt. Þessi hönnun hjálpar til við að minnka snertiflötinn milli undirlagsins og skynjarans og dregur þannig úr varmatapi og hugsanlegri mengun.
Láréttur móttakari
Láréttir skynjarar eru sjaldgæfari í gufufasa-epitaxíu, en geta verið notaðir í sumum sérstökum vaxtarkerfum til að leyfa vöxt epitaxíu í lárétta átt.
Einlitur epitaxial viðbragðsnæmur
Einlita epitaxial viðbragðsnæmið er hannað fyrir eitt undirlag, sem getur veitt nákvæmari hitastýringu og betri varmaeinangrun, hentugur fyrir vöxt hágæða epitaxial laga.
Velkomin á vefsíðu okkar til að fá upplýsingar og ráðgjöf um vörur.
Vefsíða okkar: https://www.vet-china.com/
Birtingartími: 30. júlí 2024