ในระหว่างกระบวนการเอพิแทกซีในเฟสไอ (VPE) บทบาทของฐานรองคือการรองรับพื้นผิวและให้แน่ใจว่าความร้อนจะสม่ำเสมอตลอดกระบวนการเจริญเติบโต ฐานรองประเภทต่างๆ เหมาะกับสภาวะการเจริญเติบโตและระบบวัสดุที่แตกต่างกัน ต่อไปนี้คือประเภทฐานรองที่ใช้กันทั่วไปในเฟสไอเอพิแทกซี:
ฐานรองถัง
ฐานถังมักใช้ในระบบเอพิแทกซีเฟสไอในแนวนอนหรือเอียง ฐานถังสามารถยึดพื้นผิวและให้ก๊าซไหลผ่านพื้นผิวได้ ซึ่งช่วยให้เกิดการเจริญเติบโตของเอพิแทกซีที่สม่ำเสมอ
ฐานรูปจาน (ฐานตั้ง)
ฐานรูปดิสก์เหมาะสำหรับระบบอิพิแทกซีเฟสไอแนวตั้ง ซึ่งพื้นผิวจะถูกวางในแนวตั้ง การออกแบบนี้ช่วยลดพื้นที่สัมผัสระหว่างพื้นผิวและตัวรับ จึงลดการสูญเสียความร้อนและการปนเปื้อนที่อาจเกิดขึ้นได้
ตัวรับแนวนอน
ตัวรับแนวนอนนั้นพบได้น้อยกว่าในเอพิแทกซีในเฟสไอ แต่สามารถใช้ในระบบการเจริญเติบโตเฉพาะบางระบบเพื่อให้เอพิแทกซีเจริญเติบโตในทิศทางแนวนอนได้
ตัวรับปฏิกิริยาเอพิแทกเซียลโมโนลิธิก
ตัวรับปฏิกิริยาเอพิแทกเซียลแบบโมโนลิธิกได้รับการออกแบบมาสำหรับสารตั้งต้นตัวเดียว ซึ่งสามารถควบคุมอุณหภูมิได้แม่นยำยิ่งขึ้นและการแยกความร้อนได้ดีขึ้น เหมาะสำหรับการเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียลคุณภาพสูง
ยินดีต้อนรับเข้าสู่เว็บไซต์ของเราเพื่อข้อมูลผลิตภัณฑ์และการให้คำปรึกษา
เว็บไซต์ของเรา: https://www.vet-china.com/
เวลาโพสต์ : 30 ก.ค. 2567