За време на процесот на епитаксија во парна фаза (VPE), улогата на пиедесталот е да ја потпре подлогата и да обезбеди рамномерно загревање за време на процесот на раст. Различни видови пиедестали се погодни за различни услови на раст и системи на материјали. Следниве се некои од најчесто користените типови пиедестали во парна фаза.епитаксија:
Буре во пиедестал
Бурињастите пиедестали најчесто се користат во хоризонтални или навалени системи за епитаксија во парна фаза. Тие можат да ја држат подлогата и да дозволат гасот да тече преку подлогата, што помага да се постигне униформен епитаксијален раст.
Диск во облик на пиедестал (вертикален пиедестал)
Дисковидните пиедестали се погодни за вертикални системи за епитаксија во парна фаза, во кои подлогата е поставена вертикално. Овој дизајн помага да се намали контактната површина помеѓу подлогата и сусцепторот, со што се намалува загубата на топлина и потенцијалната контаминација.
Хоризонтален сусцептор
Хоризонталните сусцептори се поретки кај епитаксијата во парна фаза, но може да се користат во некои специфични системи на раст за да се овозможи епитаксијален раст во хоризонтална насока.
Монолитен епитаксијален реактивен сусцептор
Монолитниот епитаксијален реакционен сусцептор е дизајниран за еден супстрат, што може да обезбеди попрецизна контрола на температурата и подобра термичка изолација, погодна за раст на висококвалитетни епитаксијални слоеви.
Добредојдовте на нашата веб-страница за информации за производите и консултации.
Нашата веб-страница: https://www.vet-china.com/
Време на објавување: 30 јули 2024 година