Höyryfaasiepitaksian (VPE) aikana jalustan tehtävänä on tukea substraattia ja varmistaa tasainen kuumennus kasvuprosessin aikana. Erilaiset jalustatyypit sopivat erilaisiin kasvuolosuhteisiin ja materiaalijärjestelmiin. Seuraavassa on joitakin yleisesti käytettyjä jalustatyyppejä höyryfaasissaepitaksian:
Tynnyrin jalusta
Tynnyrijalustoja käytetään yleisesti vaakasuorissa tai kallistetuissa höyryfaasiepitaksiaalisissa järjestelmissä. Ne voivat pitää substraatin paikallaan ja antaa kaasun virrata substraatin yli, mikä auttaa saavuttamaan tasaisen epitaksiaalisen kasvun.
Levyn muotoinen jalusta (pystysuora jalusta)
Kiekonmuotoiset jalustat sopivat vertikaalisiin höyryfaasiepitaksijärjestelmiin, joissa substraatti asetetaan pystysuoraan. Tämä rakenne auttaa vähentämään substraatin ja suskeptorin välistä kosketuspinta-alaa, mikä vähentää lämpöhäviötä ja mahdollista kontaminaatiota.
Vaakasuora suskeptori
Vaakasuorat suskeptorit ovat harvinaisempia höyryfaasiepitaksiassa, mutta niitä voidaan käyttää joissakin erityisissä kasvujärjestelmissä epitaksiaalisen kasvun mahdollistamiseksi vaakasuunnassa.
Monoliittinen epitaksiaalinen reaktiosuskeptori
Monoliittinen epitaksiaalinen reaktiosuskeptori on suunniteltu yhdelle substraatille, mikä voi tarjota tarkemman lämpötilan säädön ja paremman lämmöneristyksen, mikä soveltuu korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten kasvuun.
Tervetuloa verkkosivuillemme tuotetietoa ja konsultaatiota varten.
Verkkosivustomme: https://www.vet-china.com/
Julkaisuaika: 30.7.2024