Mandritra ny dingana epitaxy amin'ny dingana etona (VPE), ny andraikitry ny pedestal dia ny manohana ny substrate ary miantoka ny fanafanana mitovy mandritra ny dingana fitomboana. Ny karazana pedestal samihafa dia mety amin'ny toe-javatra fitomboana sy rafitra fitaovana samihafa. Ireto manaraka ireto ny sasany amin'ireo karazana pedestal ampiasaina matetika amin'ny dingana etona.epitaksia:
Faladia barika
Matetika ampiasaina amin'ny rafitra epitaksia mitsivalana na mitongilana ny faladia barika. Afaka mitazona ny substrate izy ireo ary mamela ny entona hikoriana eo ambonin'ny substrate, izay manampy amin'ny fahazoana fitomboana epitaxial mitovy.
Faladia miendrika kapila (faladia mitsangana)
Ny faladia miendrika kapila dia mety amin'ny rafitra epitaxy dingana etona mitsangana, izay apetraka mitsangana ny substrate. Ity endrika ity dia manampy amin'ny fampihenana ny velaran'ny fifandraisana eo amin'ny substrate sy ny susceptor, ka mampihena ny fahaverezan'ny hafanana sy ny mety ho fahalotoana.
Susceptor mitsivalana
Tsy dia fahita firy amin'ny epitaxy amin'ny dingana etona ny susceptors horizontal, saingy azo ampiasaina amin'ny rafitra fitomboana manokana sasany mba ahafahana mitombo epitaxial amin'ny lalana mitsivalana.
Mpanafaka fihetsika epitaxial monolitika
Ny "monolithic epitaxial reaction susceptor" dia natao ho an'ny substrate tokana, izay afaka manome fifehezana ny mari-pana marina kokoa sy fitokana-monina mafana tsara kokoa, mety amin'ny fitomboan'ny sosona epitaxial avo lenta.
Tongasoa eto amin'ny tranonkalanay raha mila fanazavana fanampiny momba ny vokatra sy torohevitra.
Ny tranonkalanay: https://www.vet-china.com/
Fotoana fandefasana: 30 Jolay 2024