Lurrun-faseko epitaxia (VPE) prozesuan, oinarriaren eginkizuna substratua eustea eta hazkuntza-prozesuan berotze uniformea bermatzea da. Oinarri mota desberdinak egokiak dira hazkuntza-baldintza eta material-sistema desberdinetarako. Jarraian, lurrun-fasean erabili ohi diren oinarri mota batzuk daude.epitaxia:
Upel-oinarria
Upel-euskarriak normalean fase lurrunkorreko epitaxia sistemetan erabiltzen dira, horizontalean edo inklinatuta. Substratua eutsi eta gasa substratuaren gainetik isurtzen utzi dezakete, eta horrek hazkunde epitaxial uniformea lortzen laguntzen du.
Disko formako oinarria (oinarri bertikala)
Disko-formako oinarriak egokiak dira lurrun-faseko epitaxia bertikaleko sistemetarako, non substratua bertikalki jartzen den. Diseinu honek substratuaren eta suszeptorearen arteko kontaktu-eremua murrizten laguntzen du, horrela bero-galera eta kutsadura potentziala murriztuz.
Suszeptore horizontala
Suszeptore horizontalak ez dira hain ohikoak lurrun-faseko epitaxian, baina hazkuntza-sistema espezifiko batzuetan erabil daitezke norabide horizontalean hazkuntza epitaxiala ahalbidetzeko.
Erreakzio epitaxial monolitikoen suszeptorea
Erreakzio epitaxial monolitikoen suszeptorea substratu bakar baterako diseinatuta dago, tenperaturaren kontrol zehatzagoa eta isolamendu termiko hobea emanez, kalitate handiko geruza epitaxialen hazkuntzarako egokia.
Ongi etorri gure webgunera produktuen informazioa eta kontsultak jasotzeko.
Gure webgunea: https://www.vet-china.com/
Argitaratze data: 2024ko uztailaren 30a