Edistyksellinen huokoinen keraaminen tyhjiöistukka

Edistyksellinen huokoinen keraaminen tyhjiöistukka
Huokoinen keraaminen tyhjiöistukkaon kuormaa kantava alusta, joka käyttää tyhjiöadsorptioperiaatetta työkappaleiden kiinnittämiseen. Tyhjiöistukan alipainetta välittävä osa on huokoinen keraaminen levy. Huokoinen keraaminen levy on koottu jalustan upotusreikään, ja sen reunat on liimattu ja tiivistetty jalustan kanssa. Jalusta on valmistettu tarkkuuskeraamisista tai metallisista materiaaleista. Yhdistämällä metalli- tai keraaminen jalusta erityiseen huokoiseen keramiikkaan, sisäisen tarkkuusilmakanavan rakenne mahdollistaa työkappaleen tasaisen ja vakaan tarttumisen tyhjiöimukuppiin, kun se altistetaan negatiiviselle paineelle.

Huokoisen keramiikan erittäin hienojen huokosten ansiosta työkappaleen pinta voidaan kiinnittää imukuppiin ilman negatiivisen paineen aiheuttamia haitallisia tekijöitä, kuten naarmuja tai kolhuja.

Huokoisen keraamisen tyhjiöistukan ominaisuudet:
① Tiivis ja tasainen rakenne: Kestää piijauheen/hiontajätteen imeytymistä, helppo puhdistaa.
② Korkea lujuus ja kulutuskestävyys: Ei muodonmuutoksia hiomisen aikana, minimoi reunan lohkeilun/pirstoutumisen.
③ Pitkä käyttöikä: Erinomainen pinnan muodon säilyvyys, pitkä käsittelyjakso ja minimaalinen poistomäärä.
④ Korkea eristys: Poistaa staattisen sähkön.
⑤ Uudelleenkäytettävä ja helppo käsitellä: Ei halkeilua/lohkeilua pinnoituksen aikana, useita käyttökertoja mahdollista.
⑥ Pölyämätön ja vakaa: Täysin sintrattu, ei hiukkaspäästöjä.
⑦ Kevyt: Huokoinen rakenne vähentää painoa merkittävästi.
⑧ Kemikaalien kestävyys: Mukautettavissa syövyttäviin ympäristöihin materiaalin/prosessinohjauksen avulla.

Keraaminen tyhjiöistukka VS perinteinen metallinen imukuppi:

Keraaminen tyhjiöistukka puolijohdealalla
Keraamiset tyhjiöistukat toimivat kiinnitys- ja kantotyökaluina puolijohdekiekkojen valmistuksessa. Niille on ominaista korkea tasaisuus ja yhdensuuntaisuus, tiivis ja tasainen rakenne, korkea lujuus, hyvä ilmanläpäisevyys, tasainen adsorptiovoima ja helppo työstäminen. Nämä ominaisuudet tekevät niistä sopivia puolijohdekiekkojen valmistuksen prosesseihin, kuten ohennukseen, viipalointiin, hiontaan, puhdistukseen ja käsittelyyn. Ne ratkaisevat tehokkaasti haasteita, kuten kiekkojen painautumisen, sirujen sähköstaattisen hajoamisen ja hiukkaskontaminaation, saavuttaen erittäin korkean puolijohdekiekkojen prosessointilaadun käytännön sovelluksissa.